[发明专利]基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置

说明书

技术领域

本发明涉及吸附并保持基板的基板搬送用手及具有该基板搬送用手的基板搬送装置。

背景技术

为了对在液晶显示器、等离子显示器以及半导体等的制造中使用的玻璃或半导体晶片等薄板状的基板进行搬送，使用了基板搬送装置。基板搬送装置多用于以下情况：取出收纳于盒内的基板并将其交给基板处理装置、或接受来自基板处理装置的基板并将其收纳于盒。多数用于这样的用途的基板搬送装置包括用于载置并搬送基板的基板搬送用手(例如，参照日本特开2007-83322号公报)。

基板搬送用手在支承部件上具有多根棒状的叉，将基板载置于所述叉上。在每个叉设置有吸附部，所述吸附部用于使基板在搬送时不产生偏移。基板通过所述吸附部被吸附保持。基板搬送装置例如将叉插入盒内，并利用叉上的吸附部吸附保持基板，然后将基板搬送至基板处理装置等目标位置。

另一方面，以提高生产率为目的，为了提高盒中的基板收纳率，盒内的基板间间距(基板与基板之间的间隔)变得越来越小。另外，同样以提高生产率为目的，基板变得越来越大，伴随着基板的变大，基板容易弯曲而产生变形。另外，伴随着基板的变大，叉也有必要形成为长棒状，因此当基板搬送装置使基板搬送用手进行动作时，特别是叉的末端会发生大的振动。因此，基板搬送用手的叉变得越来越难以进入到盒内，研究了在使叉的厚度变薄的同时提高叉的刚度以抑制振动等的各种方法。

通过以上的背景可知，因为吸附部必须按照基板的弯曲和变形进行紧贴，所以所述吸附部必须构成为能够产生微小的倾斜。因此，在一般情况下，吸附部构成为从叉的表面突起几毫米左右，从而能够倾斜。但是，若吸附部从叉的表面突起的突起量大，则如上所述，当盒内的基板间间距小时，会产生叉不能够进入盒的问题。另外，存在以下情况：即使叉和吸附部为能够进入基板间间距的尺寸，如果考虑到叉的振动，叉还是不能够进入盒。也就是说，问题在于如何使吸附部从叉的表面突起的突起量减小。

发明内容

因此，根据本发明的一个实施方式，提供一种基板搬送用手，即使盒中的基板间间距小，所述基板搬送用手也能够顺利地吸附基板。

本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手包括叉和吸附部，所述吸附部设置于所述叉并对基板进行吸附，所述基板搬送用手通过所述吸附部来吸附保持所述基板并进行搬送，其中，所述吸附部包括：吸盘，所述吸盘与所述基板接触并吸附所述基板；和弹性部件，所述弹性部件设置在所述叉与所述吸盘之间，并且所述弹性部件具有吸附流路，所述吸附流路使吸附用流体在所述叉与所述吸盘之间连通，所述吸附部构成为能够通过使所述弹性部件的一部分变形来任意地改变所述吸盘相对于所述叉的突起量。

另外，通过本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手，从以多层方式收纳基板的盒中搬出所述基板的基板搬送方法为如下所述的方法：使所述吸盘相对于所述叉的突起量减小，在减小了所述突起量的状态下使所述叉插入到所述盒内的想要搬出的所述基板和与所述想要搬出的基板相邻的基板之间，在完成所述插入后，停止所述突起量的减小，并使所述叉靠近所述想要搬出的基板以使所述吸盘与所述想要搬出的基板接触，使所述想要搬出的基板吸附于所述吸盘，并将所述叉从所述盒抽出。

根据本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手，能够将处于基板间间距狭小的状态下的基板搬入和搬出。也就是说，例如，收纳基板的盒能够以基板间间距狭小的状态进行收纳，因此能够使制造半导体或液晶的装置成为高生产率的装置。

附图说明

图1是示出具有本发明的实施方式的一个形态涉及的基板搬送用手的基板搬送装置的立体图。

图2是示出基板搬送用手的一个实施方式的图。

图3是基板搬送用手从盒中搬出基板时的图。

图4是示出基板搬送用手的吸附部的第一实施方式的图。

图5是示出基板搬送用手的吸附部的第二实施方式的图。

图6是示出基板搬送用手的吸附部的第三实施方式的图。

图7是示出基板搬送用手的吸附部的第四实施方式的图。

图8是示出基板搬送用手的吸附部的第一变形例的图。

图9是示出基板搬送用手的吸附部的第二变形例的图。

具体实施方式