[发明专利]用于提高软磁材料磁性能的双真空退火装置及工艺有效
| 申请号： | 201110326201.7 | 申请日： | 2011-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN102392261A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 董湧法;陈平;刘辉 | 申请（专利权）人： | 上海涌真机械有限公司 |
| 主分类号： | C23F17/00 | 分类号： | C23F17/00;H01F41/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 上海市青浦区赵巷镇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于提高软磁材料磁性能的双真空退火装置及工艺，其中双真空退火装置包括主、副室两个真空炉腔、加热装置和真空泵机组，通过先低温渗氮后高温真空退火的热处理工艺来获得磁性能、耐腐蚀性和机械性能都优良的软磁材料。优点在于，双真空退火装置的加热装置在副室，直接套在主室外面，它可以保温、节能，又对主室保持干净，控制调节温度方便；采用500～550℃渗氮、后高温真空退火的热处理工艺，解决了已有先退火后渗氮工艺中磁性能先变好后变差的问题；在渗氮过程中，氨气热分解产生氢气，氢气是还原性气体，可以减少软磁材料基体内的有害杂质，提高磁性能；软磁材料渗氮没有氧化膜的影响，渗氮均匀、效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 提高 材料 磁性 真空 退火 装置 工艺 | ||
【主权项】：
用于提高软磁材料磁性能的双真空退火装置，其特征在于，包括：一作为主室的第一真空炉腔，该主室置放退火元件；一作为副室的第二真空炉腔，其套设于第一真空炉腔之外；一热电偶，设于第二真空炉腔中；一加热装置，设于第二真空炉腔内部，且套设于第一真空炉腔外壁之上；一罗茨泵机组，其连接第二真空炉腔；一扩散泵机组，其连接第一真空炉腔。
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