[发明专利]用于提高软磁材料磁性能的双真空退火装置及工艺

权利要求书

1.用于提高软磁材料磁性能的双真空退火装置，其特征在于，包括：

一作为主室的第一真空炉腔，该主室置放退火元件；

一作为副室的第二真空炉腔，其套设于第一真空炉腔之外；

一热电偶，设于第二真空炉腔中；

一加热装置，设于第二真空炉腔内部，且套设于第一真空炉腔外壁之上；

一罗茨泵机组，其连接第二真空炉腔；

一扩散泵机组，其连接第一真空炉腔。

2.运用权力要求1所述的用于提高软磁材料磁性能的双真空退火装置进行提高软磁材料磁性能的热处理工艺，包括如下步骤：

(1)低温渗氮：将软磁材料制成的元件置入主室，先开启罗茨泵机组，将副室抽真空至5Pa，然后再开启扩散泵机组，将主室抽真空至10-3Pa，然后升温进行渗氮处理，渗氮温度为500～550℃，调节氨流量使氨分解率为50～55％，氮化时间为2～3小时；

(2)高真空退火：对渗氮后的元件进行高温真空退火，先开启罗茨泵机组，将副室抽真空至5Pa，然后再开启扩散泵机组，重新将主室抽真空至10-3Pa，以10～30℃/h的速度升温至800～900℃，根据进行退火处理的软磁材料所需退火时间确定恒温保持所需的时间，待经过恒温之后以小于或等于200℃的速度降温至600℃，调整冷速至室温。

3.如权利要求1所述的用于提高软磁材料磁性能的双真空退火装置，其特征在于，所述加热装置为电加热丝。