[发明专利]放电灯、光源装置、曝光装置及曝光装置的制造方法有效
| 申请号： | 201110306079.7 | 申请日： | 2007-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN102518954A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 白数广;青木保夫;小山元夫;菊池孝幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | F21S2/00 | 分类号： | F21S2/00;F21V21/00;F21V29/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;杨林森 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够容易且短时间内进行放电灯相对于安装机构的安装等的光源装置。本发明的光源装置，具备：具有形成发光部的玻璃管(25)和与其连结的灯头部(26)的放电灯(1)；经由灯头部(26)保持放电灯(1)的安装装置(31)，其中，灯头部(26)具有与安装装置(31)的定位板(50)抵接的凸缘部(26a)；被施加将凸缘部(26a)向定位板(50)推压的推压力的固定部(26h)，安装装置(31)具有利用压缩螺旋弹簧(44A)推靠固定部(26h)的固定用臂(55A)。 | ||
| 搜索关键词： | 电灯 光源 装置 曝光 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种光源装置，其具备：具有形成发光部的玻璃构件和与该玻璃构件连结的灯头构件的放电灯；具有经由所述灯头构件保持所述放电灯的保持构件的保持装置，其特征在于，所述放电灯所具备的所述灯头构件具有：抵接部，其与所述保持构件抵接而规定所述发光部相对于所述保持构件的在第一方向的位置；被推靠部，其被施加将所述抵接部沿着所述第一方向向所述保持构件推压的推压力；嵌合部，其设在所述抵接部与所述被推靠部之间，并与所述保持构件嵌合；槽部，其设在所述嵌合部中，在其与所述保持构件之间构成从所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷却用介质的流路，所述保持装置具有：所述保持构件；对所述被推靠部施加所述推压力的推靠构件；切换机构，其切换利用所述推靠构件的将所述抵接部向所述保持构件的推压和该推压的解除；介质供给装置，其将用于冷却所述灯头构件的所述冷却用介质经由所述槽部向所述流路供给。
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