[发明专利]放电灯、光源装置、曝光装置及曝光装置的制造方法

权利要求书

1.一种光源装置，其具备：具有形成发光部的玻璃构件和与该玻璃构件连结的灯头构件的放电灯；具有经由所述灯头构件保持所述放电灯的保持构件的保持装置，其特征在于，

所述放电灯所具备的所述灯头构件具有：

抵接部，其与所述保持构件抵接而规定所述发光部相对于所述保持构件的在第一方向的位置；

被推靠部，其被施加将所述抵接部沿着所述第一方向向所述保持构件推压的推压力；

嵌合部，其设在所述抵接部与所述被推靠部之间，并与所述保持构件嵌合；

槽部，其设在所述嵌合部中，在其与所述保持构件之间构成从所述抵接部附近直至所述被推靠部的冷却用介质的流路，

所述保持装置具有：

所述保持构件；

对所述被推靠部施加所述推压力的推靠构件；

切换机构，其切换利用所述推靠构件的将所述抵接部向所述保持构件的推压和该推压的解除；

介质供给装置，其将用于冷却所述灯头构件的所述冷却用介质经由所述槽部向所述流路供给。

2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述放电灯的所述被推靠部具有段部，在利用所述推靠构件将所述抵接部向所述保持构件推压之时，所述推靠构件的至少一部分插入所述段部。

3.根据权利要求1或2所述的光源装置，其特征在于，设在所述灯头部中的所述槽部，被以环绕沿着所述第一方向的轴的螺旋状形成。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的光源装置，其特征在于，在所述放电灯的所述抵接部形成至少一个定位部，

在所述保持装置的所述保持构件形成与所述定位部卡合的至少一个凸部。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的光源装置，其特征在于，在所述放电灯的所述抵接部形成至少一个定位部，

在所述保持装置的所述保持构件形成与所述定位部卡合的至少一个凸部，

所述定位部与所述凸部在将所述放电灯安装在所述保持装置上的状态下在所述介质供给装置与所述槽部连通的位置卡合。

6.根据权利要求2所述的光源装置，其特征在于，

所述保持装置具有：

弹性构件；

移动件，其具有相对于所述第一方向倾斜的锥面，因有所述弹性构件的弹力作用而沿着所述第一方向移动；

臂构件，其与所述锥面抵接而将所述移动件的所述第一方向的移动变换为朝向所述段部的插入方向的移动，并作为至少一部分被插入所述段部的所述推靠构件。

7.根据权利要求6所述的光源装置，其特征在于，所述移动件包含将所述放电灯的所述灯头构件的至少一部分包围地配置的圆筒状的构件，

所述臂构件被环绕所述灯头构件以大致等角度间隔配置多个。

8.根据权利要求6或7所述的光源装置，其特征在于，所述保持装置的所述切换机构具有：

可旋转地配置的杆构件；

连杆机构，其与所述杆构件的旋转角对应地将所述移动件沿所述第一方向移动。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的光源装置，其特征在于，所述放电灯具有在与所述灯头构件不同的位置与所述玻璃构件连结的第二灯头构件，

在所述第二灯头构件的内部设置冷却用介质所流通的流路。

10.根据权利要求9所述的光源装置，其特征在于，所述灯头构件、所述发光部及所述第二灯头构件被沿着所述第一方向配置，

所述第二灯头构件具有以环绕沿着所述第一方向的轴的螺旋状形成的流路。

11.根据权利要求9或10所述的光源装置，其特征在于，所述第二灯头构件具备供给所述冷却用介质和点亮所述放电灯用的电力的用力接收端子。

12.根据权利要求9至11中任意一项所述的光源装置，其特征在于，具备：

可与所述用力接收端子卡合的用力供给端子；

向所述用力供给端子导入电力和冷却用介质的由导体形成的具有柔软性的管状电缆。