[发明专利]放电灯、光源装置、曝光装置及曝光装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及放电灯、具备该放电灯的光源装置、具备该光源装置的曝光装置以及该曝光装置的制造方法。 

背景技术

在用于制造各种设备(微型设备、电子设备等)的光刻工序中，为了将形成于母版(或光掩模等)上的图案向涂布有抗蚀剂的晶片(或玻璃平板等)上转印，使用步进机等一次性曝光型(静止曝光型)的投影曝光装置及扫描步进装置等扫描曝光型的投影曝光装置等曝光装置。在这些曝光装置中，以往使用将水银灯等放电灯与聚光镜组合而构成的曝光用的光源装置，其放电灯被经由给定的安装机构保持。 

以往的放电灯的安装机构的一个例子是如下的机构，即：在放电灯的灯头设置凸缘部及环状的槽部，将片簧的开口部卡合在该槽部中，利用该片簧来将该凸缘部向支架推压而固定(例如参照专利文献1)。该机构中，在放电灯的安装或更换时，为将该片簧的夹钳机构松开以使该灯头可以通过该片簧的开口部，需要使该片簧滑动。另外，以往的放电灯的安装机构的其他的例子是如下的机构，即：在放电灯的灯头中设置定位销等，将该灯头以给定的旋转角插入设于平板状的安装板上的圆形的开口部，通过将设于该开口部的螺旋开槽部用螺栓紧固，而将该灯头固定(例如参照专利文献2)。 

另外，在具有放电灯的以往的光源装置中，为减轻发热的影响，也有具备冷却机构的类型。以往的冷却机构的一个例子是如下的机构，即：从放电灯的一方的灯头的外面经过灯泡部的外面向另一方的灯头的外面供给冷却了的空气(例如参照专利文献3)。作为以往的冷却机构的其他的例子，还已知有如下的机构，即：在放电灯的灯头中设置环状的槽部，经由该槽部及给定的送风管向灯泡供给冷却了的空气(例如参照专利文献4)。 

专利文献1：日本特开平10-55713号公报 

专利文献2：日本特开2003-45219号公报 

专利文献3：日本特开平9-213129号公报 

专利文献4：日本特开平11-283898号公报 

以往的光源装置的放电灯的安装机构，因为在放电灯的安装或更换时，需要将片簧的夹钳机构松开而使该片簧滑动，或者需要松开安装板的螺旋开槽部的夹钳，所以就存在在放电灯的安装等中需要花费时间的问题。另外，以往的安装机构由于将设于片簧上的开口部的轮廓的一部分挂在灯头的槽部中，或者将安装板的螺旋开槽部紧固而固定放电灯的灯头，因此就有难以将固定该灯头的力设定在所需的范围内的问题。 

另外，以往的光源装置的放电灯的冷却机构，由于主要向放电灯的灯泡部吹送冷风，因此就有对灯头的冷却作用小的问题。 

发明内容

本发明鉴于上述情况，其第一目的在于，提供可以很容易并短时间内进行放电灯向安装机构上的安装等的光源装置。 

另外，本发明的第二目的在于，提供可以用简单的机构有效地进行放电灯的冷却的光源装置。 

另外，本发明的目的还在于，提供可以应用于这种光源装置中的放电灯以及使用该光源装置的曝光技术。 

本发明的第一方式的光源装置，具备：具有形成发光部25的玻璃构件和与该玻璃构件连结的灯头构件26的放电灯1；具有经由该灯头构件保持该放电灯的保持构件50、52的保持装置31，该放电灯所具备的该灯头构件具有：抵接部26a，其与该保持构件抵接而规定该发光部相对于该保持构件的第一方向的位置；被推靠部26e～26h，其被施加将该抵接部沿着该第一方向向该保持构件推压的推压力；嵌合部26b，其设在该抵接部与该被推靠部之间，并与该保持构件嵌合；槽部26d，其设在该嵌合部中，在其与该保持构件之间构成从该抵接部附近直至该被推 靠部的冷却用介质的流路，该保持装置具有：该保持构件；对该被推靠部施加该推压力的推靠构件55A；切换机构63，其切换利用该推靠构件的将该抵接部向该保持构件的推压和该推压的解除；介质供给装置71，其将用于冷却该灯头构件的介质经由该槽部向该流路供给。