[发明专利]一种TFT阵列基板及显示装置有效
| 申请号： | 201110298250.4 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102651400A | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 戴天明;姚琪;张锋 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/15;H01L27/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种TFT阵列基板及显示装置，涉及显示技术领域，用以提高薄膜晶体管的开关特性。所述TFT阵列基板包括：数据线和栅线，以及在所述数据线和栅线限定的像素单元中形成的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：栅极、栅绝缘层、有源层、欧姆接触层以及源极、漏极；其特征在于，所述有源层为超晶格结构，该超晶格结构包括预定数目的层叠的层组，所述层组包括半导体单层和非半导体单层。本发明实施例适用于阵列基板及显示装置的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tft 阵列 显示装置 | ||
【主权项】：
一种TFT阵列基板，包括：数据线和栅线，以及在所述数据线和栅线限定的像素单元中形成的薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：栅极、栅绝缘层、有源层、欧姆接触层以及源极、漏极；其特征在于，所述有源层为超晶格结构，该超晶格结构包括预定数目的层叠的层组，所述层组包括半导体单层和非半导体单层。
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