[发明专利]用于晶体生长炉坩埚的升降装置无效
| 申请号: | 201110281741.8 | 申请日: | 2011-09-19 |
| 公开(公告)号: | CN102409393A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
| 发明(设计)人: | 盛建明;王平;胡董成;张雪平 | 申请(专利权)人: | 江苏同人电子有限公司 |
| 主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
| 代理公司: | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;高雪琴 |
| 地址: | 江苏省镇江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明提供一种用于晶体生长炉坩埚的升降装置,包括:支柱(4),其一端固定于坩埚(2)的底部,另一端从晶体生长炉(1)的炉底伸出;由丝杠传动机构驱动的升降平台(8),其中,升降平台(8)与支柱(4)的伸出炉底的部分固定连接,以带动坩埚(2)在晶体生长炉(1)的温场中升降。本发明能够即时调节坩埚在炉内温场中相对位置。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 晶体生长 坩埚 升降 装置 | ||
【主权项】:
一种用于晶体生长炉坩埚的升降装置,其特征在于,包括:支柱(4),其一端固定于所述坩埚(2)的底部,另一端从所述晶体生长炉(1)的炉底伸出;以及由丝杠传动机构驱动的升降平台(8),其中,所述升降平台(8)与所述支柱(4)的伸出所述炉底的部分固定连接,以带动所述坩埚(2)在所述晶体生长炉(1)的温场中升降。
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