[发明专利]用于晶体生长炉坩埚的升降装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于晶体生长炉坩埚的升降装置。

背景技术

现有的晶体生长炉(例如蓝宝石生长炉)内坩埚是放置在底部的钨棒支撑之上，坩埚的定位主要依靠初始设计来定位，或者通过增减支撑的垫块来实现坩埚高度的改变。

现有技术中不能对坩埚的位置进行即时调节，而实际上坩埚在炉内温场中相对位置，也是工艺初始参数中重要的一环。

发明内容

针对相关技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种用于晶体生长炉坩埚的升降装置，以即时调节坩埚在炉内温场中相对位置。

为实现上述目的，本发明提供一种用于晶体生长炉坩埚的升降装置，包括：支柱，其一端固定于坩埚的底部，另一端从晶体生长炉的炉底伸出；由丝杠传动机构驱动的升降平台，升降平台与支柱的伸出炉底的部分固定连接，以带动坩埚在晶体生长炉的温场中升降。

优选地，丝杠传动机构具有：由电机驱动的丝杠；与丝杠螺纹配合的丝杠螺母，与升降平台固定连接；支架，丝杠转动支撑在支架(16)上。

优选地，支架上还设有导轨，升降平台上设有与导轨形成上下滑动配合的导向槽。

优选地，在支柱的位于升降平台与炉底之间的部分上，套设有密封装置，密封装置包括：固定在炉底上的上法兰盘、与升降平台固定连接的下法兰盘、以及一端固定于上法兰盘另一端固定于下法兰盘的可伸缩波纹管，支柱与上法兰盘和波纹管之间具有间隙，支柱与下法兰盘之间紧密接触。

优选地，在上法兰盘与炉底之间、上法兰盘与波纹管之间、下法兰盘与波纹管之间、以及支柱与下法兰盘之间分别设有密封圈。

优选地，升降平台上固定有支座，下法兰盘固定在支座上以与升降平台固定连接，支柱依次穿过密封装置、支座、升降平台，并且支柱与支座之间沿轴向固定连接。

优选地，在支架上，还固定有用于度量升降平台升降行程的数字尺。

优选地，晶体生长炉为蓝宝石晶体生长炉。

本发明的有益技术效果在于：本发明把坩埚支撑建立在可升降平台上。通过驱动平台的升降来实现坩埚的升降，与现有技术相比，本发明可即时调节坩埚在炉内温场中相对位置，这对于把握坩埚相对位置不同所带来的工艺参数的改进更有具体的帮助、更方便于总结和改进工艺参数。

附图说明

图1是本发明升降装置的示意图，示出了由升降平台驱动的丝杠传动机构。

具体实施方式

以下参见附图，描述本发明的具体实施方式。

参见图1描述本发明的用于晶体生长炉坩埚的升降装置，其包括：固定在坩埚2底部的支柱4、驱动所述支柱4升降的升降平台8。

具体地，如图1示出的，支柱4的一端固定于坩埚2的底部，另一端从晶体生长炉1的炉底伸出；升降平台8与支柱4的伸出炉底的部分固定连接，其中升降平台由丝杠传动机构驱动，以带动坩埚2在晶体生长炉1的温场中升降。由此实现即时调节坩埚2在温场中的位置。

继续参见图1，上述的丝杠传动机构包括丝杠24、丝杠螺母26、驱动丝杠24的电机12(也可以是其他动力装置)、以及支架16，其中丝杠24的两端转动支撑在支架16上。丝杠螺母26与升降平台8固定连接，丝杠24与丝杠螺母26螺纹配合，在电机12驱动下，丝杠24带动丝杠螺母26升或降。

图1还示出了，在支架16上设有导轨10(导轨10固定在支架16上或与支架16成为一体件)，升降平台8上设有与导轨10形成上下滑动配合的导向槽。在电机驱动下，导轨10在导向槽中上下滑动。

为了保持炉内的真空，在支柱4的位于升降平台8与炉底之间的部分上套设有密封装置。更详细地，如图1示出的，密封装置包括：固定在炉底上的上法兰盘18、与升降平台8固定连接的下法兰盘22、以及一端固定于上法兰盘另一端固定于下法兰盘的可伸缩波纹管6。就该密封装置与支柱之间的连接关系而言，支柱4与上法兰盘18之间具有间隙、支柱4与波纹管6之间具有间隙，而支柱4与下法兰盘22之间紧密接触(即，密封连接以保证炉内真空)。在支柱4带动坩埚2上下升降时，波纹管6相应地伸缩。进一步，在上法兰盘18与炉底之间、上法兰盘18与波纹管6之间、下法兰盘22与波纹管6之间、以及支柱4与下法兰盘22之间分别设有密封圈。

此外，升降平台8上还固定有支座20，下法兰盘22固定在支座20上以与升降平台8固定连接，支柱4依次穿过上述密封装置、支座20、升降平台8，并且支柱4与支座20之间沿轴向固定连接。此外，为了度量升降平台的升降行程在支架上还固定有数字尺14。