[发明专利]用于晶体生长炉坩埚的升降装置无效
| 申请号： | 201110281741.8 | 申请日： | 2011-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN102409393A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 盛建明;王平;胡董成;张雪平 | 申请（专利权）人： | 江苏同人电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;高雪琴 |
| 地址： | 江苏省镇江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 晶体生长 坩埚 升降 装置 | ||
1.一种用于晶体生长炉坩埚的升降装置，其特征在于，包括：
支柱(4)，其一端固定于所述坩埚(2)的底部，另一端从所述晶体生长炉(1)的炉底伸出；以及
由丝杠传动机构驱动的升降平台(8)，
其中，所述升降平台(8)与所述支柱(4)的伸出所述炉底的部分固定连接，以带动所述坩埚(2)在所述晶体生长炉(1)的温场中升降。
2.根据权利要求1所述的升降装置，其特征在于，所述丝杠传动机构具有：
由电机(12)驱动的丝杠(24)；
与所述丝杠(24)螺纹配合的丝杠螺母(26)，与所述升降平台(8)固定连接；以及
支架(16)，所述丝杠(24)转动支撑在所述支架(16)上。
3.根据权利要求2所述的升降装置，其特征在于，
所述支架(16)上还设有导轨(10)，所述升降平台(8)上设有与所述导轨(10)形成上下滑动配合的导向槽。
4.根据权利要求3所述的升降装置，其特征在于，
在所述支柱(4)的位于所述升降平台(8)与所述炉底之间的部分上，套设有密封装置，
其中，所述密封装置包括：固定在所述炉底上的上法兰盘(18)、与所述升降平台(8)固定连接的下法兰盘(22)、以及一端固定于所述上法兰盘另一端固定于所述下法兰盘的可伸缩波纹管(6)，
其中，所述支柱(4)与所述上法兰盘(18)和波纹管(6)之间具有间隙，所述支柱(4)与所述下法兰盘(22)之间紧密接触。
5.根据权利要求4所述的升降装置，其特征在于，
在所述上法兰盘(18)与所述炉底之间、所述上法兰盘(18)与所述波纹管(6)之间、所述下法兰盘(22)与所述波纹管(6)之间、以及所述支柱(4)与所述下法兰盘(22)之间分别设有密封圈。
6.根据权利要求4或5所述的升降装置，其特征在于，
所述升降平台(8)上固定有支座(20)，所述下法兰盘(22)固定在所述支座(20)上以与所述升降平台(8)固定连接，
其中，所述支柱(4)依次穿过所述密封装置、所述支座(20)、所述升降平台(8)，并且所述支柱(4)与所述支座(20)之间沿轴向固定连接。
7.根据权利要求2-5中任一项所述的升降装置，其特征在于，
在所述支架上，还固定有用于度量所述升降平台升降行程的数字尺(14)。
8.根据权利要求2-5中任一项所述的升降装置，其特征在于，所述晶体生长炉为蓝宝石晶体生长炉。
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