[发明专利]低温泵系统及其控制方法有效
| 申请号： | 201110275525.2 | 申请日： | 2011-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN102410173A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 安东正道 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | F04B37/08 | 分类号： | F04B37/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种低温泵系统及其控制方法，其在低温泵系统的多个压缩机之间更加均等地分担负载。本发明的低温泵系统(1000)具备：多个低温泵(10)；多个压缩机单元(102、104)，为了向多个低温泵(10)供给工作气体，分别按照控制输出而并列运行；及低温泵控制器(100)，决定相对于多个压缩机单元(102、104)各自的控制输出，其中，低温泵控制器(100)调整为了对至少1个压缩机单元(102、104)决定控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元(102、104)的运行状态均衡化。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种低温泵系统，其特征在于，具备：多个低温泵；多个压缩机单元，为了向所述多个低温泵供给工作气体，分别按照控制输出并列运行；及控制部，决定相对于所述多个压缩机单元各自的控制输出，其中，所述控制部调整为了对至少1个压缩机单元决定所述控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元的运行状态均衡化。
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