[发明专利]低温泵系统及其控制方法

说明书

技术领域

本申请主张基于2010年9月21日申请的日本专利申请第2010-211282号的优先权。其申请的所有内容通过参考援用于本说明书中。

本发明涉及一种具备多个低温泵的低温泵系统及其控制方法。

背景技术

为了对较大容积进行真空排气，有时对1个容积应用多个低温泵。并且，为了对具有多个真空腔的真空处理装置的各真空腔进行真空排气，有时在真空处理装置搭载多个低温泵。如果台数较少，则为了使工作气体在多个低温泵中循环而设置1个共同的压缩机。若是具有更多低温泵的大型真空排气系统，则有时还设置多个压缩机。相同地，具有多个超低温设备，例如超低温制冷机的超低温系统也能够包含多个压缩机(例如参考专利文献1、2)。

专利文献1：日本特开2004-3792号公报

专利文献2：日本特开2009-275579号公报

在具有多个压缩机的系统中，有任一个压缩机以比其他压缩机更高的频度或者以更高的负载运行的倾向时，与其他压缩机相比，该压缩机的磨损更快，其结果，有可能增加该系统的维护工作的频度。随此，有可能发生系统的停机时间也变大之类的不良情况。

发明内容

本发明的目的之一在于，当对多个超低温设备，例如低温泵应用多个压缩机时，能够在多个压缩机之间更加均等地分担负载。

本发明的一种形态的低温泵系统具备：多个低温泵；多个压缩机单元，为了向所述多个低温泵供给工作气体，分别按照控制输出而并列运行；及控制部，决定相对于所述多个压缩机单元各自的控制输出。所述控制部也可调整为了对至少1个压缩机单元决定所述控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元的运行状态均衡化。

本发明的另一形态是，为了向多个低温泵供给工作气体而并列运行的多个压缩机的控制方法。该方法具备：决定相对于所述多个压缩机各自的控制输出的步骤、及通过调整为了对至少1个压缩机决定所述控制输出而使用的设定值来使各压缩机的运行状态均衡化的步骤。

发明效果

根据本发明，能够在多个压缩机之间更加均等地分担负载。

附图说明

图1是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵系统的整体结构的图。

图2是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵的截面图。

图3是示意地表示本发明的一实施方式所涉及的压缩机单元的图。

图4是有关本实施方式所涉及的低温泵系统的控制块图。

图5是用于说明本发明的一实施方式所涉及的差压恒定控制的控制流程的图。

图6是用于说明本发明的一实施方式所涉及的设定值调整处理的流程图。

图7是表示在本发明的一实施方式所涉及的调整处理中所使用的调整表的图。

图8是用于说明本发明的一实施方式所涉及的调整处理结果的一例的图。

图中：10-低温泵，12-制冷机，14-板结构体，16-热护罩，22-第1冷却台，23-第1温度传感器，24-第2冷却台，25-第2温度传感器，26-制冷机马达，28-闭塞部，31-开口部，32-挡板，100-CP控制器，102-第1压缩机单元，104-第2压缩机单元，140-压缩机主体，164-第1压力传感器，166-第2压力传感器，168-压缩机控制器，172-压缩机马达，1000-低温泵系统。

具体实施方式

首先，对在以下说明的本发明所涉及的实施方式的概要进行说明。根据本发明所涉及的一实施方式，提供一种并列设置有多个压缩机的低温泵系统。在一实施例中，至少有2台压缩机被独立地控制并同时运行。以某种频度调整对各个压缩机设定的设定值，以使各压缩机的运行状态均衡化。由此，能够抑制有可能随着时间的经过而扩大的各压缩机的运行状态的背离，且均等地分担负载。运行状态的背离例如起因于各压缩机的个体差。例如可以认为起因在于，压缩机主体或附带设置于此的传感器或其他设备类的个体差、或者连接各压缩机与低温泵的配管系统的长度或处理的差异。

在一实施方式中，提供用于从共同的负载回收工作气体并供给的工作气体循环装置。共同的负载为工作气体的供给目标端，可包含多个超低温设备。超低温设备可以是通过制冷循环产生寒冷的超低温制冷机。超低温设备还可以是具备通过超低温制冷机冷却的低温板的低温泵。工作气体循环装置可具备，各自并列连接于共同的负载且各自按照控制输出运行的多个压缩机单元、及决定相对于多个压缩机单元各自的控制输出的控制部。控制部可通过调整为了对至少1个压缩机单元决定控制输出而使用的设定值来使各压缩机单元的运行状态均衡化。