[发明专利]低温泵系统及其控制方法

权利要求书

1.一种低温泵系统，其特征在于，具备：

多个低温泵；

多个压缩机单元，为了向所述多个低温泵供给工作气体，分别按照控制输出并列运行；及

控制部，决定相对于所述多个压缩机单元各自的控制输出，

其中，所述控制部调整为了对至少1个压缩机单元决定所述控制输出而使用的设定值，以使各压缩机单元的运行状态均衡化。

2.如权利要求1所述的低温泵系统，其特征在于，

所述多个压缩机单元分别具备压缩机主体及使该压缩机主体动作并能够改变运行频率的压缩机马达，所述运行频率由所述控制部决定，

所述控制部对所述多个压缩机单元中任一压缩机单元及除该压缩机单元以外的其他压缩机单元的至少一方调整所述设定值，以便缩小该压缩机单元的运行频率与所述其他压缩机单元的运行频率之差。

3.如权利要求1或2所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制部决定所述控制输出，以使与各压缩机单元相关联的测定值接近对各压缩机单元设定的目标值，所述设定值为所述目标值。

4.如权利要求1至3中任一项所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制部能够执行决定向各压缩机单元的控制输出的差压恒定控制，以使各压缩机单元中的吸入侧与吐出侧的差压与目标差压一致，当执行该差压恒定控制时，调整所述至少1个压缩机单元的目标差压。

5.如权利要求1至4中任一项所述的低温泵系统，其特征在于，

所述控制部根据保证基于调整的所述多个低温泵的排气性能的变化在容许范围内的调整量，调整所述至少1个压缩机单元的设定值。

6.如权利要求1至5中任一项所述的低温泵系统，其特征在于，进一步具备：

共同管路，连接所述多个低温泵和所述多个压缩机单元，且汇集所述多个低温泵与所述多个压缩机单元之间的工作气体的给排；及

多个个别配管，将所述多个压缩机单元分别连接于所述共同管路上。

7.一种为了向多个低温泵供给工作气体而并列运行的多个压缩机的控制方法，其特征在于，具备：

决定相对于所述多个压缩机各自的控制输出的步骤，及

通过调整为了对至少1个压缩机决定所述控制输出而使用的设定值来使各压缩机的运行状态均衡化的步骤。

8.一种低温泵系统，其特征在于，具备：

多个低温泵；

多个压缩机单元，为了向所述多个低温泵供给工作气体，分别按照控制输出并列运行；及

控制部，决定相对于所述多个压缩机单元各自的控制输出。