[发明专利]双轴驱动机构和模片结合器

摘要

本发明提供不增大水平驱动轴的转矩便可实现升降轴的高速化的包含Z轴的双轴驱动机构和使用该双轴驱动机构的模片结合器。本发明的双轴驱动机构，具有：处理部；第一直线电动机，具备使上述处理部沿第一直线导轨升降的第一可动部和第一固定部；第二直线电动机，具备使上述处理部在与上述升降方向垂直的水平方向上移动的第二可动部和第二固定部；连接部，借助于上述第一直线导轨连接上述第一可动部且直接或间接地连接上述第二可动部；第二直线导轨，使上述第一可动部、上述第二可动部和上述连接部成为一体并在上述水平方向上移动；和支撑体，将上述第一固定部和上述第二固定部在上述水平方向上以预定的长度互相平行地固定。

主权项

一种双轴驱动机构，其特征在于，具有：处理部；具备使上述处理部沿第一直线导轨升降的第一可动部和第一固定部的第一直线电动机；具备使上述处理部在与上述升降方向垂直的水平方向上移动的第二可动部和第二固定部的第二直线电动机；借助于上述第一直线导轨连接上述第一可动部并直接或间接地连接上述第二可动部的连接部；使上述第一可动部、上述第二可动部和上述连接部成为一体并在上述水平方向上移动的第二直线导轨；和将上述第一固定部和上述第二固定部在上述水平方向上以预定的长度互相平行地固定的支撑体。