[发明专利]倒装薄膜太阳能电池的制作方法

摘要

本发明揭示了一种倒装薄膜太阳能电池的制备方法，在半导体的第一衬底上沉积牺牲层，在牺牲层上生长太阳能电池外延层；然后在外延层的表面和第二衬底的表面分别制备键合/粘附结构层，通过键合方式/粘合方式贴附在一起；最后选择性去除牺牲层，把第一衬底剥离，形成第二衬底上的倒装型结构太阳电池，同时剥离掉的半导体第一衬底可以重复利用。本发明方法可以降低生产成本，改善电池工作状态下的散热性能，提高太阳能电池的光电转换效率。

主权项

倒装薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于包括如下步骤：步骤1：利用金属有机物化学气相沉积法，在半导体的第一衬底上生长牺牲层，所述牺牲层为III‑V族元素组成的单元、两元、三元或四元化合物；步骤2：在上述牺牲层上生长太阳能电池结构外延层，所述外延层为由Ⅲ‑Ⅴ族化合物组成的含有一个以上光伏单元的薄膜；步骤3：采用物理或化学的方法，在上述外延层的表面和第二衬底的表面分别制备键合/粘附层；步骤4：将带有键合/粘附层的外延层以倒装方式键合或粘合连接到第二衬底的表面；步骤5：选择性地去除牺牲层，把第一衬底剥离，在第二衬底上形成倒装结构的太阳能电池。