[发明专利]倒装薄膜太阳能电池的制作方法无效
申请号: | 201110271236.5 | 申请日: | 2011-09-14 |
公开(公告)号: | CN102299210A | 公开(公告)日: | 2011-12-28 |
发明(设计)人: | 王荣新;李晓伟;曾春红;张宝顺;杨辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陈忠辉 |
地址: | 215125 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒装 薄膜 太阳能电池 制作方法 | ||
1.倒装薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于包括如下步骤:
步骤1:利用金属有机物化学气相沉积法,在半导体的第一衬底上生长牺牲层,所述牺牲层为III-V族元素组成的单元、两元、三元或四元化合物;
步骤2:在上述牺牲层上生长太阳能电池结构外延层,所述外延层为由Ⅲ-Ⅴ族化合物组成的含有一个以上光伏单元的薄膜;
步骤3:采用物理或化学的方法,在上述外延层的表面和第二衬底的表面分别制备键合/粘附层;
步骤4:将带有键合/粘附层的外延层以倒装方式键合或粘合连接到第二衬底的表面;
步骤5:选择性地去除牺牲层,把第一衬底剥离,在第二衬底上形成倒装结构的太阳能电池。
2.根据权利要求1所述的倒装薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:在太阳能电池结构外延层中,所述一个以上光伏单元的种类为叠层PN结、叠层PIN结或两种混用。
3.根据权利要求1所述的倒装薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:在太阳能电池结构外延层中,所述一个以上光伏单元为顺次串联或分组串联。
4.根据权利要求1所述的倒装薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述倒装薄膜太阳能电池的结构为单结结构,双结级联式结构,双结以上级联式结构,复合双结级联加双结的结构,复合三结级联加单结的结构,复合双结级联加双结级联再加单结的结构,复合三结级联加双结级联加单结的结构,或者复合多结级联加多结级联的结构中的任意一种。
5.根据权利要求1所述的倒装薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述牺牲层至少为铝砷,铟砷,镓锑,铝镓砷,铝镓锑,镓砷锑,铟铝砷或者铟镓砷中的一种。
6.根据权利要求1所述的倒装薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤4中所述键合方式包括金属-金属键合,金属-硅键合,金属-玻璃键合,或者金属-陶瓷键合。
7.根据权利要求1所述的倒装薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:步骤4中所述粘合方式包括金属-有机材料或者有机材料-有机材料通过粘合剂粘连。
8.根据权利要求1所述的倒装薄膜太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述第二衬底为具有机械强度的无机或有机片状体,至少包括硅片,玻璃,陶瓷,金属基板,有机衬底,硅胶基板或者石墨片。
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