[发明专利]一种凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法

摘要

本发明介绍了一种凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法将纯度99.99%、平均粒径为0.05-2μm的ITO氧化物粉末制备成低黏度、高固相含量的浆料，再将浆料中有机单体聚合使浆料原位凝固获得坯体；坯体经过干燥、脱脂后进行微正压气氛烧结，制备出密度大于7.11g/cm3，电阻率为10-4Ω·cm量级，晶粒尺寸4～7μm且分布均匀的ITO靶材。本发明获得的坯体密度大、分布均匀，脱模后不必CIP处理；操作简单，成本低；坯体气孔尺寸分布均匀，能在较低温度下制备出高密度、晶粒度较小的ITO靶材；易于实现连续化、规模化生产，可制备大规格高品质的ITO靶材。

主权项

一种凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法，其特征是具体方法为：（1）ITO复合粉体的制备：制备In2O3和SnO2的化学共沉淀复合粉体或铟锭和锡锭的电弧气化复合粉体作为原料粉，该原料粉中In2O3质量分数为85‑95%，SnO2为5‑15%，粉体纯度为4N，复合粉体的平均粒径限制为0.05‑2微米；（2）高固相含量浆料的制备：将（1）制备的纯度为99.99%、平均粒径为0.05‑2μm的ITO粉末与去离子水混合后，进行机械球磨制备出固相含量为75%～85%的浆料；各添加剂占浆料质量的百分数为：有机分散剂占0.08%～0.25%，单体占1.85%～4.35%，交联剂占0.09%～0.40%，球磨时间为10～25h；（3）高固相含量浆料的坯体成型：将（2）制备的浆料中加入0.10‰～0.40‰的引发剂，以及0～0.10‰的催化剂，搅拌均匀后注入金属、玻璃或塑料模具，在50℃～80℃条件下干燥后原位凝固成型，成型后脱模；（4）凝胶注模成型坯体的脱脂：对（3）成型的坯体继续干燥5～10h后，在400℃～800℃条件下进行脱脂处理；（5）成型坯体的烧结：对（4）中脱脂的坯体在微正压气氛条件下加热到1450℃～1550℃，保温3～10h进行烧结，制得靶材。