[发明专利]一种凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法

权利要求书

1.一种凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法，其特征是具体方法为：

（1）ITO复合粉体的制备：

制备In₂O₃和SnO₂的化学共沉淀复合粉体或铟锭和锡锭的电弧气化复合粉体作为原料粉，该原料粉中In₂O₃质量分数为85-95%，SnO₂为5-15%，粉体纯度为4N，复合粉体的平均粒径限制为0.05-2微米；

（2）高固相含量浆料的制备：

将（1）制备的纯度为99.99%、平均粒径为0.05-2μm的ITO粉末与去离子水混合后，进行机械球磨制备出固相含量为75%～85%的浆料；各添加剂占浆料质量的百分数为：有机分散剂占0.08%～0.25%，单体占1.85%～4.35%，交联剂占0.09%～0.40%，球磨时间为10～25h；

（3）高固相含量浆料的坯体成型：

将（2）制备的浆料中加入0.10‰～0.40‰的引发剂，以及0～0.10‰的催化剂，搅拌均匀后注入金属、玻璃或塑料模具，在50℃～80℃条件下干燥后原位凝固成型，成型后脱模；

（4）凝胶注模成型坯体的脱脂：

对（3）成型的坯体继续干燥5～10h后，在400℃～800℃条件下进行脱脂处理；

（5）成型坯体的烧结：

对（4）中脱脂的坯体在微正压气氛条件下加热到1450℃～1550℃，保温3～10h进行烧结，制得靶材。

2.根据权利要求1所述的凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法，其特征是：所述的所述的分散剂为D-3019，单体为以下有机物中的一种或两种：甲基丙烯酰胺（MAM）、N-乙烯基吡咯烷酮（NVP）、甲氧基-聚乙二醇甲基丙烯酸（MPEGMA）、甲基丙烯酸二甲胺基乙酯（DMAEMA）、二甲基羟乙基丙烯酸甲酯（HEMA）、二甲基丙烯酰胺（DMMA）。

3.根据权利要求1所述的凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法，其特征是：所述的交联剂为N-N’亚甲基双丙烯酰胺（MBAM）、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯（PEGDMA）、丙烯基丙烯酸甲酯中的任一种。

4.根据权利要求1所述的凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法，其特征是：所述的引发剂为过硫酸铵（APS）、偶氮二咪唑啉丙烷（AZIP）、偶氮二咪基丙烷盐酸盐（AZAP）、双氧水（H₂O₂）中的任一种。

5.根据权利要求1所述的凝胶注模成型技术制备ITO靶材的方法，其特征是：所述的催化剂为四甲基乙二胺。