[发明专利]一种低温扫描近场光学显微镜无效
| 申请号： | 201110255669.1 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102426269A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 赵华波;林峰;朱星 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 苏爱华 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低温扫描近场光学显微镜，属于近场光学仪器制造领域。该显微镜设有真空腔室，该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室，扫描室内设有扫描头，扫描头的光路包括照明光纤、针尖光纤和扫描控制电子线路，照明光纤与真空腔室外部的激光器连接，针尖光纤与外部的光谱仪和光电倍增管连接，光谱仪和光电倍增管与扫描控制器连接，扫描控制电子线路与扫描控制器连接。本发明制备出高效的低温扫描近场光学显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 扫描 近场 光学 显微镜 | ||
【主权项】：
一种低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，该显微镜设有真空腔室，该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室，扫描室内设有扫描头，扫描头的光路包括照明光纤、针尖光纤和扫描控制电子线路，照明光纤与真空腔室外部的激光器连接，针尖光纤与外部的光谱仪和光电倍增管连接，光谱仪和光电倍增管与扫描控制器连接，扫描控制电子线路与扫描控制器连接。
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