[发明专利]一种低温扫描近场光学显微镜无效
| 申请号： | 201110255669.1 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102426269A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 赵华波;林峰;朱星 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 苏爱华 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低温 扫描 近场 光学 显微镜 | ||
【权利要求书】：
1.一种低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，该显微镜设有真空腔室，该真空腔室分为上下两部分，上部为扫描室，下部为低温杜瓦室，扫描室内设有扫描头，扫描头的光路包括照明光纤、针尖光纤和扫描控制电子线路，照明光纤与真空腔室外部的激光器连接，针尖光纤与外部的光谱仪和光电倍增管连接，光谱仪和光电倍增管与扫描控制器连接，扫描控制电子线路与扫描控制器连接。
2.如权利要求1所述的低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，低温杜瓦室内设有双层结构的低温杜瓦，低温杜瓦外层是液氮腔，低温杜瓦内层是液氦腔，液氦腔的顶部为一导热铜盘，导热铜盘连接一铜棒，该铜棒一直延伸到液氦腔的底部。
3.如权利要求1所述的低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，在扫描室上设有顶部法兰，顶部法兰上设有扫描控制电子线路和光路的接口。
4.如权利要求1所述的低温扫描近场光学显微镜，其特征在于，扫描头悬挂在处于顶端法兰中心的升降杆下端。
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