[发明专利]吊起干燥装置、使用其的磁记录介质用基板或磁记录介质的制造方法

摘要

本发明涉及一种吊起干燥装置、使用其的磁记录介质用基板或磁记录介质的制造方法。该吊起干燥装置，在一边将具有中心孔(1a)的圆盘状的基板(1)浸渍在清洗槽(2)内的清洗液(L)中一边进行基板(1)的清洗之后吊起并干燥该基板(1)，其具备：插通于基板(1)的中心孔(1a)以悬吊状态支撑多个基板(1)的悬吊机构；升降机构，其在将基板(1)浸渍在清洗槽(2)内的清洗液(L)的位置和将基板(1)取出到清洗槽(2)上的位置之间升降操作悬吊机构；和喷出机构，其配置在清洗槽(2)内从悬吊机构的下方向基板(1)喷出清洗液(L)，该喷射机构对从清洗液(L)的液面吊起了的基板(1)喷射干燥气氛气体(G)。

主权项

一种吊起干燥装置，为在一边将具有中心孔的圆盘状的基板浸渍在清洗槽内的清洗液中一边进行基板的清洗之后吊起并干燥该基板的吊起干燥装置，其特征在于，具备：悬吊机构，其插通于所述基板的中心孔，以悬吊状态支撑多个基板；升降机构，其在将基板浸渍于所述清洗槽内的清洗液的位置和将基板取出到所述清洗槽上的位置之间对所述悬吊机构进行升降操作；和喷出机构，其配置在所述清洗槽内，从所述悬吊机构的下方向基板喷出所述清洗液。