[发明专利]液处理装置及喷嘴的启动加注处理方法

摘要

本发明提供一种在喷嘴的启动加注处理中，缩短辊子绕涂药液的绕涂距离以及减少绕涂量，辊子的清洗也简单易行的方法。在沿着辊子(23)的长度方向的正上方，使喷嘴(10)的狭缝状喷出口对峙的状态下，从上述喷嘴向上述辊子喷出药液R，然后实施药液介于上述喷嘴和辊子的间隙之间的液粘附步骤。然后，实施将向上述辊子(23)上喷出的药液R暂时向喷嘴一侧吸引的回吸步骤。通过实施上述回吸步骤，能够缩短辊子绕涂药液的绕涂距离，所以，在一个辊子中，能够增加能够用于启动加注处理的次数。

主权项

一种液处理装置，其具备将药液从喷出口喷出的长条状的喷嘴，和使所述基板相对于所述喷嘴相对移动的相对移动单元，该液处理装置的特征在于，包括：配置于所述液处理装置的局部、用于对所述基板进行药液的液处理准备的启动加注辊；能够使所述喷嘴的喷出口与所述启动加注辊的正上方对峙的喷嘴移动机构；和配置于向所述喷嘴供给药液的药液供给路径中，且能够将从所述喷嘴喷出的药液暂时吸引的减压单元，其中，通过所述喷嘴移动机构，沿所述启动加注辊的长度方向的正上方，使所述喷嘴的喷出口对峙，在实施将药液喷出在所述启动加注辊上的启动加注处理的状态下，通过所述减压单元，能够实施将喷出在启动加注辊上的药液暂时吸引在喷嘴一侧的操作。