[发明专利]液处理装置及喷嘴的启动加注处理方法

权利要求书

1.一种液处理装置，其具备将药液从喷出口喷出的长条状的喷嘴，和使所述基板相对于所述喷嘴相对移动的相对移动单元，该液处理装置的特征在于，

包括：

配置于所述液处理装置的局部、用于对所述基板进行药液的液处理准备的启动加注辊；

能够使所述喷嘴的喷出口与所述启动加注辊的正上方对峙的喷嘴移动机构；

和配置于向所述喷嘴供给药液的药液供给路径中，且能够将从所述喷嘴喷出的药液暂时吸引的减压单元，其中，

通过所述喷嘴移动机构，沿所述启动加注辊的长度方向的正上方，使所述喷嘴的喷出口对峙，在实施将药液喷出在所述启动加注辊上的启动加注处理的状态下，通过所述减压单元，能够实施将喷出在启动加注辊上的药液暂时吸引在喷嘴一侧的操作。

2.如权利要求1所述的液处理装置，其特征在于：

所述减压单元是设置在所述喷嘴与从该喷嘴将药液喷出的泵之间的药液供给路径中的能够暂时扩大空间容积的回吸阀。

3.一种液处理装置，其具备将药液从喷出口喷出的长条状的喷嘴，和使所述基板相对于所述喷嘴相对移动的相对移动单元，该液处理装置的特征在于，

包括：

配置于所述液处理装置的局部，用于对所述基板进行药液的液处理准备的启动加注辊；

能够使所述喷嘴的喷出口与所述启动加注辊的正上方对峙的喷嘴移动机构；和

对所述喷嘴移动机构的操作和药液的喷出操作进行控制的控制部，其中，

所述控制部进行以下控制：通过所述喷嘴移动机构，沿所述启动加注辊的长度方向的正上方，使所述喷嘴的喷出口对峙，将药液喷出在所述启动加注辊上，之后，一边在所述喷嘴与所述启动加注辊之间维持连续的积液，一边使所述喷嘴上升至规定高度后停止，之后，使所述启动加注辊旋转来进行所述喷嘴的断液。

4.一种启动加注处理方法，其是液处理装置中的喷嘴的启动加注处理方法，其特征在于：

具备将药液从喷出口喷出的长条状的喷嘴，和使所述基板相对于所述喷嘴相对移动的相对移动单元，

所述启动加注处理方法包括：在沿启动加注辊的长度方向的正上方，在使所述喷嘴的喷出口对峙的状态下，通过所述喷嘴将药液喷出在所述启动加注辊上，使药液介于所述喷嘴与所述启动加注辊之间的间隙的着液步骤；

将喷出在所述启动加注辊上的药液暂时吸引在喷嘴一侧的回吸步骤；和

通过旋转驱动所述启动加注辊，将介于所述间隙中的药液绕涂在所述启动加注辊一侧，解除药液介于喷嘴和启动加注辊之间的状态，使其成为断液状态的绕涂步骤。

5.如权利要求4所述的启动加注处理方法，其特征在于：

在所述回吸步骤的实行中，开始所述绕涂步骤。

6.如权利要求4所述的启动加注处理方法，其特征在于：

在所述绕涂步骤中，在继所述启动加注辊向一个方向的旋转动作后，实施启动加注辊的逆向旋转操作，至少在所述启动加注辊的向一个方向的旋转操作过程中，实施所述回吸步骤。

7.如权利要求4所述的启动加注处理方法，其特征在于：

在所述绕涂步骤结束时，使所述启动加注辊的旋转速度加快，形成所述断液状态。

8.如权利要求4所述的启动加注处理方法，其特征在于：

在所述绕涂步骤结束时，通过将所述喷嘴与所述启动加注辊的水平方向的距离离开的操作而成为所述断液状态。

9.如权利要求4所述的启动加注处理方法，其特征在于：

在所述着液步骤实施后，实施将所述喷嘴与所述启动加注辊之间的间隙缩小的操作，在所述回吸步骤实施后，使所述喷嘴与所述启动加注辊之间的间隙恢复至所述着液步骤实施时的状态，开始所述绕涂步骤。

10.如权利要求9所述的启动加注处理方法，其特征在于：

在所述绕涂步骤结束时，通过加快所述启动加注辊的旋转速度，成为所述断液状态。