[发明专利]一种触摸传感器的制作方法有效
| 申请号： | 201110212106.4 | 申请日： | 2011-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN102902389A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 步欢欢 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518118 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种触摸传感器的制作方法，所述方法包括以下步骤：S11、在ITO-Cu膜上形成一层耐酸油墨，该耐酸油墨覆盖预留的传感器Cu线区；S12、将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过氯化铁溶液，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu区；S13、通过碱性溶液将耐酸油墨脱膜处理，并清洗；S14、在经过步骤S13处理后的ITO-Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区；S15、采用激光干刻仪蚀刻传感器Cu线区中多余的Cu、以及该多余的Cu所覆盖的ITO，以形成Cu膜走线；S16、去除所述保护胶，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ITO，以形成ITO图案走线。本发明提供的制作方法中，采用激光干刻法制作Cu膜走线和ITO图案走线，实现了TPSensor窄边的设计要求，可在窄边制作线宽较小的走线。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 触摸 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S11、在ITO‑Cu膜上形成一层耐酸油墨，该耐酸油墨覆盖预留的传感器Cu线区；S12、将形成有耐酸油墨的ITO‑Cu膜通过氯化铁溶液，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu区；S13、通过碱性溶液将耐酸油墨脱膜处理，并清洗；S14、在经过步骤S13处理后的ITO‑Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区；S15、采用激光干刻仪蚀刻传感器Cu线区中多余的Cu、以及该多余的Cu所覆盖的ITO，以形成Cu膜走线；S16、去除所述保护胶，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ITO，以形成ITO图案走线。
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