[发明专利]一种触摸传感器的制作方法

权利要求书

1.一种触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S11、在ITO-Cu膜上形成一层耐酸油墨，该耐酸油墨覆盖预留的传感器Cu线区；

S12、将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过氯化铁溶液，蚀刻掉未被耐酸油墨覆盖的Cu区；

S13、通过碱性溶液将耐酸油墨脱膜处理，并清洗；

S14、在经过步骤S13处理后的ITO-Cu膜上形成一层保护胶，该保护胶覆盖触摸传感器的可视区；

S15、采用激光干刻仪蚀刻传感器Cu线区中多余的Cu、以及该多余的Cu所覆盖的ITO，以形成Cu膜走线；

S16、去除所述保护胶，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ITO，以形成ITO图案走线。

2.根据权利要求1所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤S11具体为，在ITO-Cu膜上丝印一层8-12微米厚的耐酸油墨，并经紫外光固化。

3.根据权利要求1所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤S12具体为，将形成有耐酸油墨的ITO-Cu膜通过质量百分比为1%-5%氯化铁溶液喷淋。

4.根据权利要求3所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述喷淋的时间为50-60秒，压力为0.2-0.3MPa。

5.根据权利要求1所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，在所述步骤S12之后，进一步包括：用纯水清洗蚀刻后的ITO-Cu膜，并用风刀吹干。

6.根据权利要求1所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤S14中，所述保护胶为可剥离保护蓝胶。

7.根据权利要求1所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤S15中，采用激光干刻仪蚀刻多余的Cu具体包括，打开水冷机，待水冷机的温度达到标准后打开激光发生器，然后打开激光蚀刻机开始干刻。

8.根据权利要求7所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述激光发生器的频率为40-60HZ，电流为30-35A，功率为30-50%。

9.根据权利要求7所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述采用激光干刻仪蚀刻多余的Cu所形成的Cu膜走线宽度和线缝为40-60微米。

10.根据权利要求1所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述步骤S16中，采用激光干刻仪蚀刻传感器可视区内的ITO具体包括，打开水冷机，待水冷机的温度达到标准后打开激光发生器，然后打开激光蚀刻机开始干刻。

11.根据权利要求10所述的触摸传感器的制作方法，其特征在于，所述激光发生器的频率为40-60HZ，电流为30-35A，功率为30-50%。