[发明专利]真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201110210232.6 | 申请日： | 2011-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN102899620A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 黄水祥 | 申请（专利权）人： | 御林汽配（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人： | 盛建德 |
| 地址： | 215325 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜装置，包括真空沉积腔室、位于真空沉积腔室内的托架和靶材，托架为网状的穹顶结构，托架之环部通过环状滚珠轴承支撑在位于真空沉积腔室内的环形支撑架，托架之环部侧部为齿条，并与位于真空沉积腔室内的驱动齿轮啮合，驱动齿轮上转轴延伸出真空沉积腔室后，由控制马达驱动转动，靶材位于该穹顶结构下方，还设有一个可控制靶材加热挥发的加热机构，穹顶结构与真空沉积腔室顶部之间至少设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体，加热机构为安装于真空沉积腔室内的、可放置靶材的槽状金属加热体，槽状金属加热体两侧设有一对电极，对电极另一端引出于真空沉积腔室后，分别与电源变压器之次级绕组引出端连接。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜装置，包括真空沉积腔室(1)、位于该真空沉积腔室内的托架(2)和靶材(3)，其特征在于：该托架(2)为表面能放置镀膜工件的网状型穹顶结构，该托架之环部(11)通过环状滚珠轴承(12)支撑在位于该真空沉积腔室内的环形支撑架(4)，该托架之环部(11)侧部为齿条，并与位于该真空沉积腔室内的驱动齿轮(5)啮合，而该驱动齿轮(5)上转轴(51)延伸出该真空沉积腔室后，由控制马达(6)驱动转动，该靶材(3)位于该穹顶结构下方，还设有一个可控制该靶材加热蒸发的加热机构，该穹顶结构与该真空沉积腔室顶部之间至少设有一个能对该托架(2)上的工件(100)加热的预加热机构。
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