[发明专利]真空镀膜装置

权利要求书

1.一种真空镀膜装置，包括真空沉积腔室(1)、位于该真空沉积腔室内的托架(2)和靶材(3)，其特征在于：该托架(2)为表面能放置镀膜工件的网状型穹顶结构，该托架之环部(11)通过环状滚珠轴承(12)支撑在位于该真空沉积腔室内的环形支撑架(4)，该托架之环部(11)侧部为齿条，并与位于该真空沉积腔室内的驱动齿轮(5)啮合，而该驱动齿轮(5)上转轴(51)延伸出该真空沉积腔室后，由控制马达(6)驱动转动，该靶材(3)位于该穹顶结构下方，还设有一个可控制该靶材加热蒸发的加热机构，该穹顶结构与该真空沉积腔室顶部之间至少设有一个能对该托架(2)上的工件(100)加热的预加热机构。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：该加热机构为安装于该真空沉积腔室内的、可放置该靶材的槽状金属加热体(71)，该槽状金属加热体两侧设有一对电极(72)，该对电极(72)另一端引出于该真空沉积腔室(1)后，分别与电源变压器(73)之次级绕组引出端连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：该预加热机构为电热丝加热体(81)或红外加热体。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：该托架(2)顶部设有一个通孔，该通孔与该真空沉积腔室之间设有一个镀膜厚度检测机构，该镀膜厚度检测机构包括带有台阶孔的固定座(91)、置于该固定座(91)之台阶孔内的透明测试片(92)以及位于该真空沉积腔室外且用于观测该透明测试片的影像传感器(93)，该固定座(91)设置于该通孔与该真空沉积腔室顶部下方之间，且该固定座(91)之台阶孔针对该通孔设置，该影像传感器(93)可通过该真空沉积腔室顶部上由透明玻璃材质组成的观察窗接收该透明测试片镀膜信息。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于：该真空沉积腔室侧部设有便于装卸该托架上镀膜工件的操作门。