[发明专利]光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置

摘要

本发明提供能够以简单的结构进行两光束的分支和两光束之间的间隔的调整的光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置。该光学装置具有：分束器(31)，其使从振荡器(2)振荡出的激光束(Lb)分支为透过而行进的第一分支束和反射而行进的第二分支束；第一反射镜(34)，其将从该分束器(31)出射的第一分支束(Lb1)再次向分束器反射；第二反射镜(36)，其将从该分束器(31)出射的第二分支束(Lb2)再次向分束器(31)反射；以及旋转部(37)，其使第一反射镜(34)和第二反射镜(36)以分束器(31)中的激光束(Lb)的分支点(32)为旋转中心一体地旋转。

主权项

一种光学装置，其具有：振荡器，其振荡出激光束；分支机构，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为两束；以及聚光器，其对从该分支机构出射的两束激光束进行会聚，该光学装置的特征在于，该分支机构具有：分束器，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为透过而行进的第一分支束和反射而行进的第二分支束；第一反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束再次向该分束器反射；第二反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束再次向该分束器反射；旋转部，其使该第一反射镜和该第二反射镜以该分束器中的该激光束的分支点为旋转中心一体地旋转；以及控制部，其使该旋转部旋转而变更该第一分支束对该第一反射镜的入射角度和该第二分支束对该第二反射镜的入射角度，从而调整在被该第一反射镜反射之后被该分束器反射的第一分支束与在被该第二反射镜反射之后透过该分束器的第二分支束所成的角度，该聚光器配置在经如下过程后的该第一分支束和该第二分支束行进的光路上，该第一分支束经过的过程为：在透过了该分束器之后被该第一反射镜反射而再次入射到该分束器，并被该分束器反射而从该分束器出射，该第二分支束经过的过程为：在被该分束器反射之后被该第二反射镜反射而再次入射到该分束器中，并透过该分束器而从该分束器出射。