[发明专利]光学装置以及具备该光学装置的激光加工装置

权利要求书

1.一种光学装置，其具有：振荡器，其振荡出激光束；分支机构，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为两束；以及聚光器，其对从该分支机构出射的两束激光束进行会聚，该光学装置的特征在于，

该分支机构具有：

分束器，其使从该振荡器振荡出的激光束分支为透过而行进的第一分支束和反射而行进的第二分支束；

第一反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束再次向该分束器反射；

第二反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束再次向该分束器反射；

旋转部，其使该第一反射镜和该第二反射镜以该分束器中的该激光束的分支点为旋转中心一体地旋转；以及

控制部，其使该旋转部旋转而变更该第一分支束对该第一反射镜的入射角度和该第二分支束对该第二反射镜的入射角度，从而调整在被该第一反射镜反射之后被该分束器反射的第一分支束与在被该第二反射镜反射之后透过该分束器的第二分支束所成的角度，

该聚光器配置在经如下过程后的该第一分支束和该第二分支束行进的光路上，该第一分支束经过的过程为：在透过了该分束器之后被该第一反射镜反射而再次入射到该分束器，并被该分束器反射而从该分束器出射，该第二分支束经过的过程为：在被该分束器反射之后被该第二反射镜反射而再次入射到该分束器中，并透过该分束器而从该分束器出射。

2.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

该分束器为偏振分束器，

该分支机构具有：配设在该激光束的分支点与该第一反射镜之间的第一1/4波长板；以及配设在该激光束的分支点与该第二反射镜之间的第二1/4波长板。

3.根据权利要求1所述的光学装置，其特征在于，

该分束器为半反镜。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的光学装置，其特征在于，

该光学装置具有：第一中间反射镜，其将从该分束器出射的该第一分支束向与通过所述旋转中心的旋转轴平行的方向反射；以及第二中间反射镜，其将从该分束器出射的该第二分支束向与通过所述旋转中心的旋转轴平行的方向反射，

该第一反射镜被设定为，使被该第一中间反射镜反射的该第一分支束入射到该分束器中的、从由该振荡器振荡出的激光束入射的位置向所述旋转轴方向偏离的位置，该第二反射镜被设定为，使被该第二中间反射镜反射的该第二分支束入射到该分束器中的、从由该振荡器振荡出的激光束入射的位置向该旋转轴方向偏离的位置。

5.一种激光加工装置，其具有：保持单元，其保持工件；以及加工单元，其对保持在该保持单元上的工件照射激光束而进行加工，其中，

该加工单元具有权利要求1～4中的任意一项所述的光学装置。