[发明专利]紫外及可见并存的电抽运随机激射器件及制备方法无效
| 申请号： | 201110194585.1 | 申请日： | 2011-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN102290707A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 马向阳;田野;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01S5/30 | 分类号： | H01S5/30 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紫外及可见并存的电抽运随机激射器件及制备方法，该器件包括衬底，衬底正面自下而上依次沉积有第一SiO2薄膜、CdO薄膜、ZnO薄膜、第二SiO2薄膜和Au电极，衬底背面沉积欧姆接触电极。本发明器件在衬底上形成了SiO2/ZnO/CdO/SiO2双势垒结构，由于镉、锌的互扩散，ZnO/CdO两薄膜层构成了Cd浓度渐变的CdxZn1-xO薄膜发光层，在一定的正向偏压下(衬底接负电压)，CdZnO薄膜能够发出位于紫外、可见区的电抽运随机激射。而且器件的结构和实现方式简单，制备工艺及所用的设备与现行成熟的硅器件工艺兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 可见 并存 抽运 随机 器件 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电抽运随机激射器件，包括衬底，其特征在于，所述衬底正面自下而上依次沉积有第一SiO2薄膜、CdO薄膜、ZnO薄膜、第二SiO2薄膜和Au电极，衬底背面沉积有欧姆接触电极。
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