[发明专利]紫外及可见并存的电抽运随机激射器件及制备方法

权利要求书

1.一种电抽运随机激射器件，包括衬底，其特征在于，所述衬底正面自下而上依次沉积有第一SiO₂薄膜、CdO薄膜、ZnO薄膜、第二SiO₂薄膜和Au电极，衬底背面沉积有欧姆接触电极。

2.根据权利要求1所述的电抽运随机激射器件，其特征在于，所述的衬底为电阻率为0.005～50欧姆·厘米的N型硅片。

3.根据权利要求1所述的电抽运随机激射器件，其特征在于，所述CdO薄膜的厚度大于ZnO薄膜的厚度。

4.一种电抽运随机激射器件的制备方法，包括：

(1)采用溶胶-凝胶法在衬底上沉积第一SiO₂薄膜；

(2)采用溅射法在第一SiO₂薄膜上沉积CdO薄膜；

(3)采用溅射法在CdO薄膜上沉积ZnO薄膜，加热处理；

(4)采用溶胶-凝胶法在ZnO薄膜沉积第二SiO₂薄膜；

(5)采用溅射法在第二SiO₂薄膜上沉积半透明Au电极，在衬底背面沉积欧姆接触电极。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)和步骤(4)中沉积SiO₂薄膜后进行加热处理，加热温度400～500℃，加热时间1～2小时。

6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中加热处理温度为600～800℃，时间为1～5小时。