[发明专利]单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法有效
| 申请号： | 201110185321.X | 申请日： | 2011-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN102313624A | 公开（公告）日： | 2012-01-11 |
| 发明（设计）人： | 马赟 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法，包括真空探头和真空压力传感器，真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上，真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。本发明的有益效果是：加装的真空压力传感器，在设备故障，导致压力异常时及时报警，防止炉压异常造成的生产损失，杜绝炉压过高时产生的安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 真空 管道 压力 检测 报警 系统 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：包括真空探头(1)和真空压力传感器(2)，真空探头(1)和真空压力传感器(2)通过三通装置(3)安装压力检测口上，真空压力传感器(2)与单晶炉报警输出回路(4)连接。
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