[发明专利]单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法

说明书

技术领域

本发明涉及单晶炉检测设备技术领域，特别是单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法。

背景技术

现有的单晶炉在排气管路中设置压力检测口，压力检测口通过手阀开闭，在压力检测口上连接真空探头，真空探头检测绝对压力2700Pa以下压力值，压力检测范围小，仅可在设备正常工作时用于炉内拉晶工艺压力控制。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法，在压力异常时及时报警。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，包括真空探头和真空压力传感器，真空探头和真空压力传感器通过三通装置安装压力检测口上，真空压力传感器与单晶炉报警输出回路连接，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。

三通装置包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头连接，真空压力传感器通过快拆法兰装置与支管连接。

在快拆法兰装置的法兰对接处安装粉尘过滤装置。

粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。

一种单晶炉真空管道压力检测报警系统的控制方法，当真空压力传感器检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路发出报警。

本发明的有益效果是：加装的真空压力传感器，在设备故障，导致压力异常时及时报警，防止炉压异常造成的生产损失，杜绝炉压过高时产生的安全隐患。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明；

图1是本发明的结构示意图；

图中，1.真空探头，2.真空压力传感器，3.三通装置，4.单晶炉报警输出回路，5.快拆法兰装置。

具体实施方式

如图1所示，一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，包括真空探头1和真空压力传感器2，真空探头1和真空压力传感器2通过三通装置3安装压力检测口上，真空压力传感器2与单晶炉报警输出回路4连接，当真空压力传感器2检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路4发出报警。真空探头1检测绝对压力2700Pa以下压力值，用于炉内拉晶工艺压力控制。真空压力传感器2检测标准大气压101KPa至-101KPa压力值，是在真空探头1的压力检测区间外增加的检测部件。

三通装置3包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头1连接，真空压力传感器2通过快拆法兰装置5与支管连接。

在快拆法兰装置5的法兰对接处安装粉尘过滤装置。粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。