[发明专利]单晶炉真空管道压力检测报警系统及其控制方法

权利要求书

1.一种单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：包括真空探头(1)和真空压力传感器(2)，真空探头(1)和真空压力传感器(2)通过三通装置(3)安装压力检测口上，真空压力传感器(2)与单晶炉报警输出回路(4)连接。

2.根据权利要求1所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：所述的三通装置(3)包括直通主管和直通主管侧面的支管，直通主管的一端与压力检测口连接，另一端与真空探头(1)连接，真空压力传感器(2)通过快拆法兰装置(5)与支管连接。

3.根据权利要求2所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：在所述的快拆法兰装置(5)的法兰对接处安装粉尘过滤装置。

4.根据权利要求3所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统，其特征是：所述的粉尘过滤装置为带滤网的金属密封圈。

5.一种权利要求1所述的单晶炉真空管道压力检测报警系统的控制方法，其特征是：当真空压力传感器(2)检测到的压力信号超过设定的高压阀值-95.0Kpa时单晶炉报警输出回路(4)发出报警。