[发明专利]一种光学膜片结构及其制造软光刻印章母模有效

专利信息
申请号: 201110163930.5 申请日: 2011-06-17
公开(公告)号: CN102230982A 公开(公告)日: 2011-11-02
发明(设计)人: 刘立林;王钢;杨建福 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: G02B5/04 分类号: G02B5/04;G03F1/00;C25D5/18
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 禹小明
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种光学膜片结构及其制造软光刻印章母模,光学膜片结构,包括一基片和一聚光层,聚光层设于基片一表面内与基片一体成型,或者独立设于基片表面上,所述聚光层包含有复数个聚光微结构单元,所述聚光微结构单元呈六棱锥无规则排布于基片表面上,六棱锥底面与基片表面贴合;软光刻印章母模,由电镀工艺制备,在高峰值电流密度下的脉冲电镀金属厚膜,所述金属厚膜具有强面外{111}织构,织构度大于85%,所述金属厚膜包括有孪晶晶粒,孪晶的共格孪晶界面与金属厚膜表面的夹角为0-45度,所述金属厚膜表面为所述复数个六棱锥状的聚光微结构单元。本发明通过六棱锥状的聚光微结构单元无规则随机分布,形成平滑起伏的结构,可有效消除Moire现象。
搜索关键词: 一种 光学 膜片 结构 及其 制造 光刻 印章
【主权项】:
一种光学膜片结构,包括一基片和一聚光层,其特征在于,聚光层设于基片一表面内与基片一体成型,或者独立设于基片表面上;所述聚光层包含有复数个聚光微结构单元,所述聚光微结构单元呈六棱锥无规则排布于基片表面上,六棱锥底面与基片表面贴合。
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