[发明专利]补液装置及包括该补液装置的太阳电池片的湿法刻蚀系统

摘要

本发明提供一种补液装置以及包括所述补液装置的太阳电池片的湿法刻蚀系统，属于太阳电池技术领域。该补液装置其包括：补液容器、液位管、设置于所述液位管上的液位感应器、与所述液位管连通的手动加液管、第一阀门、设置于所述手动加液管上的第二阀门和流量计、以及自动加液管。该湿法刻蚀系统包括该补液装置，补液装置用于向反应槽定量地补充相应药液。通过控制第一阀门和第二阀门，该补液装置可以工作于三种模式，液位感应器的校准简单并方便，以非自动模式向反应槽大量补充药液，其不需要停止运行湿法刻蚀系统，过程方便、简单且高效。

主权项

一种补液装置，其特征在于，包括：补液容器；液位管；液位感应器，其设置于所述液位管上；手动加液管，其与所述液位管连通；第一阀门，其用于控制所述补液容器是否与所述液位管和所述手动加液管连通；第二阀门和流量计，其设置于所述手动加液管上；以及自动加液管。