[发明专利]补液装置及包括该补液装置的太阳电池片的湿法刻蚀系统无效
| 申请号： | 201110160197.1 | 申请日： | 2011-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN102828184A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 畅西林;荣道兰;曹韵;韩启明 | 申请（专利权）人： | 尚德太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧霁晨;高为 |
| 地址： | 201112 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 补液 装置 包括 太阳电池 湿法 刻蚀 系统 | ||
1. 一种补液装置，其特征在于，包括：
补液容器；
液位管；
液位感应器，其设置于所述液位管上；
手动加液管，其与所述液位管连通；
第一阀门，其用于控制所述补液容器是否与所述液位管和所述手动加液管连通；
第二阀门和流量计，其设置于所述手动加液管上；以及
自动加液管。
2. 如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述液位管和所述补液容器之间设置连通管，所述第一阀门设置于所述连通管上。
3. 如权利要求2所述的补液装置，其特征在于，所述连通管上设置T形管，所述T形管用于实现所述连通管同时与所述液位管和手动加液管连通。
4. 如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述液位感应器包括在所述液位管上由上至下依次设置的高液位感应器、工作液位感应器和低液位感应器。
5. 如权利要求1或4所述的补液装置，其特征在于，所述液位感应器为光电式液位感应器。
6. 如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述手动加液管的内径范围为1厘米至1.5厘米。
7. 如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述补液装置处于正常的自动模式时，所述第一阀门打开，所述第二阀门关闭。
8. 如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述补液装置处于校准模式时，所述第一阀门关闭，所述第二阀门打开。
9. 如权利要求1所述的补液装置，其特征在于，所述补液装置以非自动模式向所述反应槽快速补充药液时，所述第一阀门打开，所述第二阀门打开。
10. 一种太阳电池片的湿法刻蚀系统，其特征在于，包括：
一个或一个以上如权利要求1至9中任一项所述的补液装置；
反应槽，其用于为所述太阳电池硅片提供反应溶液；以及
集中供液装置，其用于为所述补液装置提供相应的药液；
其中，所述补液装置用于向所述反应槽定量地补充相应药液。
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