[发明专利]补液装置及包括该补液装置的太阳电池片的湿法刻蚀系统

说明书

技术领域

本发明属于太阳电池技术领域，具体涉及一种太阳电池片的湿法刻蚀系统，尤其涉及该湿法刻蚀系统的补液装置。

背景技术

由于常规能源供给的有限性和环保压力的增加，目前世界上许多国家掀起了开发利用太阳能和可再生能源的热潮，太阳能利用技术得到了快速的发展，其中利用半导体的光生伏特效应将太阳能转变为电能的利用越来越广泛。而太阳电池就是其中最为普遍被用来将太阳能转换为电能的器件。

太阳电池是通过太阳电池片（例如单晶硅太阳电池片）经过湿法刻蚀工艺等步骤后制成的，例如，制绒工艺和刻蚀去边工艺等湿法刻蚀工艺。为保证太阳电池的成品率，在湿法刻蚀多批太阳电池片时，需要保持湿法刻蚀液的各成分的浓度以及体积基本恒定。因此，通常地，现有的太阳电池片的湿法刻蚀系统都设置有自动补液装置。

图1所示为现有技术的太阳电池片的湿法刻蚀系统的结构示意图。湿法刻蚀系统100包括反应槽150、自动补液装置130和集中供液装置110；反应槽150中置放大量反应溶液，太阳电池片可以分批地置放于反应槽150中进行刻蚀；自动补液装置130用于向反应槽150补充某一种药液，通常地，反应溶液是通过多种药液与水混合形成，因此，自动补液装置130可以根据药液成分相应设置为多个（图中未示出）；集中供液装置110用于向每个自动补液装置130补充相应的药液。

如图1所示，自动补液装置130包括补液容器131、液位管133以及朝下设置的自动加液管139，液位管133与补液容器131相连通，从而补液容器131中药液的液位可以在液位管133上得到反映。液位管133上设置有低液位感应器1331、工作液位感应器1333以及高液位感应器1335。由于补液容器通常用来盛放高浓度酸碱液，液位感应器（特别是工作液位感应器1333）容易由于其所处的酸碱环境而失灵或者灵敏度失准。这样，在向补液容器131中添加药液时，由于工作液位感应器1333发送错误信息可能会导致药液添加不准确，并且可能由于低液位感应器1331和高液位感应器1335产生误感应，也不能准确向反应槽150内准确补充药液。因此，保证液位感应器的准确性对太阳电池的生产非常重要，需要对液位感应器经常进行校准。

但是，液位感应器（1331、1333和/或1335）在进行校准时，以光电式液位感应器为例，由于自动补液装置130中的液位感应器是根据光电感应原理进行工作的，当液位感应器的发射极与接收极之间有液体时，液位感应器就处于工作状态，此时很难进行对其进行校准，所以必须在液位管133中没有药液的情形下进行（为了保证自动补液测量的准确，一般不允许挪移液位感应器的位置）。对于其它类型感应器，也存在类似情形。因此，图1所示的湿法刻蚀系统100通常采用先停止运行、并在停止运行状态下排掉补液容器131中的药液来进行液位感应器的校准。以上校准过程明显地具有过程繁琐、效率低、药液浪费严重的缺点，并且排掉的药液会导致反应槽150中的溶液浓度失调、空置的自动补液装置130也难以在短时间内通过集中供液装置110来补充至预定容积。

另外，自动补液装置130通过自动加液管139向反应槽150补充药液时，其主要是为了在太阳电池生产时保持湿法刻蚀液的各成分的浓度以及体积基本恒定，因此，其流速比较慢（例如以单位毫升/秒来定量表示）。如果需要以非自动方式向反应槽150中大量补充药液时，自动补液装置130在正常状态下是难以在短时间内完成的。因此，通常是先停止运行湿法刻蚀系统100、使自动补液装置130进入手动状态、再向反应槽150相对快速补充药液、再停止运行湿法刻蚀系统100、使自动补液装置130进入自动状态等过程后才能进入正常生产状态。由此可知，在向反应槽150大量补充药液时，过程繁琐且效率低。

有鉴于此，有必要提出一种新型的补液装置。

发明内容

本发明的目的之一在于，方便、高效地实现对补液装置的液位管上的液位感应器进行校准。

本发明的又一目的在于，避免补液装置中的药液浪费。

本发明的再一目的在于，易于保证反应槽中的溶液浓度稳定。

本发明的还一目的在于，方便、高效地通过补液装置实现对反应槽进行大量药液补充。

为实现以上目的或者其它目的，本发明提供以下技术方案。

按照本发明的一方面，提供一种补液装置，其包括：

补液容器；

液位管；

液位感应器，其设置于所述液位管上；

手动加液管，其与所述液位管连通；