[发明专利]玻璃基板的研磨方法及研磨装置无效
| 申请号： | 201110152127.1 | 申请日： | 2011-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102267087A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 小暮祐二;石丸直彦;城山厚;河内辰朗 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B57/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种玻璃基板的研磨方法及研磨装置，所述玻璃基板的研磨方法包括：液体喷雾工序，朝向吸附固定玻璃基板的非研磨面的工作台对所述工作台的吸附固定玻璃基板的非研磨面的整个区域的区域从第一喷嘴喷出防止干燥用液，接着相对于所述工作台对所述工作台的吸附固定玻璃基板的非研磨面的缘部的区域从第二喷嘴喷出缓冲液；玻璃基板固定工序，经由所述防止干燥用液将玻璃基板的非研磨面的整个区域吸附固定于所述工作台，并且经由所述缓冲液将所述玻璃基板的非研磨面的缘部吸附固定于所述工作台；及研磨工序，一边向非研磨面被吸附固定于所述工作台上的所述玻璃基板的研磨面供给研磨液一边利用研磨工具研磨该研磨面。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的研磨方法，包括：液体喷雾工序，朝向吸附固定玻璃基板的非研磨面的工作台对所述工作台的吸附固定玻璃基板的非研磨面的整个区域的区域从第一喷嘴喷出防止干燥用液，接着相对于所述工作台对所述工作台的吸附固定玻璃基板的非研磨面的缘部的区域从第二喷嘴喷出缓冲液；玻璃基板固定工序，经由所述防止干燥用液将玻璃基板的非研磨面的整个区域吸附固定于所述工作台，并且经由所述缓冲液将所述玻璃基板的非研磨面的缘部吸附固定于所述工作台；及研磨工序，一边向非研磨面被吸附固定于所述工作台上的所述玻璃基板的研磨面供给研磨液一边利用研磨工具研磨该研磨面。
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