[发明专利]玻璃基板的研磨方法及研磨装置无效
| 申请号： | 201110152127.1 | 申请日： | 2011-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102267087A | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 小暮祐二;石丸直彦;城山厚;河内辰朗 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B57/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃 研磨 方法 装置 | ||
1.一种玻璃基板的研磨方法，包括：
液体喷雾工序，朝向吸附固定玻璃基板的非研磨面的工作台对所述工作台的吸附固定玻璃基板的非研磨面的整个区域的区域从第一喷嘴喷出防止干燥用液，接着相对于所述工作台对所述工作台的吸附固定玻璃基板的非研磨面的缘部的区域从第二喷嘴喷出缓冲液；
玻璃基板固定工序，经由所述防止干燥用液将玻璃基板的非研磨面的整个区域吸附固定于所述工作台，并且经由所述缓冲液将所述玻璃基板的非研磨面的缘部吸附固定于所述工作台；及
研磨工序，一边向非研磨面被吸附固定于所述工作台上的所述玻璃基板的研磨面供给研磨液一边利用研磨工具研磨该研磨面。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的研磨方法，其中，
所述液体喷雾工序中，一边使所述工作台及所述第一、第二喷嘴中的至少一方相对移动，一边从所述第一喷嘴喷出所述防止干燥用液并从所述第二喷嘴喷出所述缓冲液。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板的研磨方法，其中，
所述防止干燥用液和所述缓冲液为同一液体。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板的研磨方法，其中，
所述液体为多元醇。
5.根据权利要求3或4所述的玻璃基板的研磨方法，其中，
在与所述工作台的相对移动方向正交的方向上，在所述工作台的上方配置多个将所述第一喷嘴和所述第二喷嘴通用化而成的同一通用喷嘴，从所述通用喷嘴朝向所述工作台喷出所述液体。
6.一种玻璃基板的研磨装置，包括：
工作台，吸附固定玻璃基板的非研磨面；
液体喷雾部，具有第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴朝向所述工作台对所述工作台的吸附固定玻璃基板的非研磨面的整个区域的区域喷出防止干燥用液，所述第二喷嘴相对于所述工作台对所述工作台的吸附固定玻璃基板的非研磨面的缘部的区域喷出缓冲液；
玻璃基板固定部，经由所述防止干燥用液将玻璃基板的非研磨面的整个区域吸附固定于所述工作台，并且经由所述缓冲液将所述玻璃基板的非研磨面的缘部吸附固定于所述工作台；及
研磨部，一边向非研磨面吸附固定于所述工作台上的所述玻璃基板的研磨面供给研磨液一边利用研磨工具研磨该研磨面。
7.根据权利要求6所述的玻璃基板的研磨装置，其中，
所述液体喷雾部一边使所述工作台及所述第一、第二喷嘴中的至少一方相对移动，一边从所述第一喷嘴喷出所述防止干燥用液并从所述第二喷嘴喷出所述缓冲液。
8.根据权利要求7所述的玻璃基板的研磨装置，其中，
所述防止干燥用液和所述缓冲液为同一液体。
9.根据权利要求8所述的玻璃基板的研磨装置，其中，
所述液体为多元醇。
10.根据权利要求8或9所述的玻璃基板的研磨装置，其中，
在与所述工作台的相对移动方向正交的方向上，在所述工作台的上方配置多个将所述第一喷嘴和所述第二喷嘴通用化而成的同一通用喷嘴，从所述通用喷嘴朝向所述工作台喷出所述液体。
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