[发明专利]类单晶硅片的制绒方法有效

专利信息
申请号: 201110144910.3 申请日: 2011-05-31
公开(公告)号: CN102810594A 公开(公告)日: 2012-12-05
发明(设计)人: 童锐;石东益;王俊;刘家益 申请(专利权)人: 茂迪(苏州)新能源有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 常亮;李辰
地址: 215300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种太阳能电池用类单晶(mono-like)硅片的制绒方法,其主要包括:依据整片硅片上晶粒的晶向不同将所述硅片分为第一区域和第二区域;然后根据不同区域采用不同的制绒方式,即通过掩膜方式保证在使对应区域获取低反射率的方式进行制绒的同时,保护另一区域的反射率不会受到对上述区域进行相关制绒的影响。通过本发明公开的太阳能电池用类单晶(mono-like)硅片的制绒方法,对同一硅片表面上不同晶向的区域分别采用相对应的制绒方式,能够保证获得比现有技术更低的反射率和较高的太阳能电池转换效率。
搜索关键词: 单晶硅 方法
【主权项】:
一种太阳能电池用类单晶硅片的制绒方法,其特征在于,包括:依据整片硅片上晶粒晶向的不同将所述硅片分为第一区域和第二区域;涂覆掩膜至所述硅片的所述第一区域;对整片所述硅片进行对应使所述第二区域获取低反射率的制绒;去除所述第一区域上的掩膜;涂覆掩膜至所述硅片的所述第二区域;对整片所述硅片进行对应使所述第一区域获取低反射率的制绒;去除所述第二区域上的掩膜。
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