[发明专利]用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床

摘要

本发明涉及一种用PCVD方法即等离子体化学汽相沉积法制作光纤预制棒的沉积车床，包括床身、微波沉积装置和保温炉，床身上面的导轨上安设往复移动滑台，微波沉积装置安设在往复移动滑台上，所述的微波沉积装置包括有谐振腔和微波发生器，在床身两侧对应谐振腔分别设置固定旋转密封夹头和移动旋转密封夹头，其特征在于在往复移动滑台上安设前、后微波沉积装置，所述的前微波沉积装置的前谐振腔轴线与后微波沉积装置的后谐振腔轴线相平行，在床身两侧对应前、后谐振腔分别设置前、后固定旋转密封夹头和前、后移动旋转密封夹头，构成双谐振腔沉积车床。本发明结构设置紧凑合理，提高了功效，降低了运行能耗，并使加工的光纤预制棒的波导结构接近和相同。

主权项

一种用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，包括床身、微波沉积装置和保温炉，床身上面的导轨上安设往复移动滑台，微波沉积装置安设在往复移动滑台上，所述的微波沉积装置包括有谐振腔和微波发生器，谐振腔通过波导与微波发生器相连，在床身两侧对应谐振腔分别设置固定旋转密封夹头和移动旋转密封夹头，其特征在于在往复移动滑台上安设前、后微波沉积装置，所述的前微波沉积装置的前谐振腔轴线与后微波沉积装置的后谐振腔轴线相平行，在床身两侧对应前、后谐振腔分别设置前、后固定旋转密封夹头和前、后移动旋转密封夹头，构成双谐振腔沉积车床。