[发明专利]用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床

权利要求书

1.一种用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，包括床身、微波沉积装置和保温炉，床身上面的导轨上安设往复移动滑台，微波沉积装置安设在往复移动滑台上，所述的微波沉积装置包括有谐振腔和微波发生器，谐振腔通过波导与微波发生器相连，在床身两侧对应谐振腔分别设置固定旋转密封夹头和移动旋转密封夹头，其特征在于在往复移动滑台上安设前、后微波沉积装置，所述的前微波沉积装置的前谐振腔轴线与后微波沉积装置的后谐振腔轴线相平行，在床身两侧对应前、后谐振腔分别设置前、后固定旋转密封夹头和前、后移动旋转密封夹头，构成双谐振腔沉积车床。

2.按权利要求1所述的用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，其特征在于所述的前谐振腔与后谐振腔等高平行安设。

3.按权利要求2所述的用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，其特征在于所述的前谐振腔与后谐振腔左右齐平。

4.按权利要求2所述的用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，其特征在于所述的前谐振腔右端面与后谐振腔左端面对齐，或前谐振腔左端面与后谐振腔右端面对齐。

5.按权利要求1或2所述的用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，其特征在于所述的保温炉为开合式可升降保温炉，安设在谐振腔的上方，保温炉炉腔横截面为矩形或腰圆形与前、后谐振腔相配置。

6.按权利要求5所述的用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，其特征在于在床身的一侧安设固定床头箱，固定床头箱上前后并行安设两个旋转密封夹套，旋转密封夹套分别通过气控阀与两个工艺气体控制柜相连通，每个工艺气体控制柜均与SiCl4蒸发柜和GeCl4蒸发柜相并接，构成前、后固定旋转密封夹头；在床身的另一侧并行安设前、后移动床头箱，前、后移动床头箱与前后谐振腔相对应，前、后移动床头箱上分别安设两个并行的旋转密封夹套，前、后移动床头箱上的旋转密封夹套分别与前、后谐振腔及固定床头箱上的两个旋转密封夹套同轴线，前、后移动床头箱上的旋转密封夹套分别通过真空闸阀和冷却盒与真空抽排装置相接，构成前、后移动旋转密封夹头。

7.按权利要求4所述的用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，其特征在于前谐振腔和后谐振腔分别通过立柱波导、弯波导、调节器及微波功率检测器与两套微波发生器相连接，构成前、后微波沉积装置。

8.按权利要求3所述的用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，其特征在于前谐振腔通过立柱波导、弯波导、调节器及微波功率检测器与微波发生器相连接，后谐振腔的立柱波导下端通过弯波导和半圆波导与调节器、微波功率检测器及微波发生器相连接。