[发明专利]用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床

说明书

技术领域

本发明涉及一种用PCVD方法即等离子体化学汽相沉积法制作光纤预制棒的沉积车床，尤其涉及该沉积车床的微波沉积装置。

背景技术

在现有技术中已存在有用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床，该沉积车床主要包括床身结构、机械传动部分、微波沉积装置和预热炉装置。现有沉积车床均为设置一套微波沉积装置的单谐振腔结构，即一次只能加工一根光纤预制棒，由于微波沉积加工一根光纤预制棒的时间较长，需要旋转往复几万次才能完成一根预制棒的沉积加工，因此单谐振腔结构的微波沉积装置不仅加工效率低，而且也影响机床其它运行部分的运行功效。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术存在的不足而提供一种有效提高机床加工效率的用于PCVD加工的光纤预制棒沉积车床。

本发明的技术方案为：包括床身、微波沉积装置和保温炉，床身上面的导轨上安设往复移动滑台，微波沉积装置安设在往复移动滑台上，所述的微波沉积装置包括有谐振腔和微波发生器，谐振腔通过波导与微波发生器相连，在床身两侧对应谐振腔分别设置固定旋转密封夹头和移动旋转密封夹头，其不同之处在于在往复移动滑台上安设前、后微波沉积装置，所述的前微波沉积装置的前谐振腔轴线与后微波沉积装置的后谐振腔轴线相平行，在床身两侧对应前、后谐振腔分别设置前、后固定旋转密封夹头和前、后移动旋转密封夹头，构成双谐振腔沉积车床。

按上述方案，所述的前谐振腔与后谐振腔等高平行安设。

按上述方案，所述的前谐振腔与后谐振腔左右齐平。

按上述方案，所述的前谐振腔右端面与后谐振腔左端面对齐，或前谐振腔左端面与后谐振腔右端面对齐。

按上述方案，所述的保温炉为开合式可升降保温炉，安设在谐振腔的上方，保温炉炉腔横截面为矩形或腰圆形与前、后谐振腔相配置。

本发明的积极效果为：1、采用双谐振腔结构，一台沉积机床可同时加工两根光纤预制棒，使得沉积机床的加工效率大幅提高；2、整个机床的结构设置紧凑合理，通过增设一套微波沉积装置即能实现双谐振腔的工作，使机床的其他运行部件得到充分的利用，可降低机床的运行能耗，有利节能降耗；3、由于运行参数相同，使加工的光纤预制棒的波导结构接近和相同，能使分开加工的光纤更为匹配。

附图说明

图1为本发明一个实施例的正视结构图。

图2为本发明一个实施例的侧视结构图。

图3为本发明另一个实施例的正视结构图。

图4为本发明另一个实施例的侧视结构图。

具体实施方式

下面结合附图进一步说明本发明的实施例。

第一个实施例如图1、2所示，包括有一床身12，床身上面设置导轨，导轨上安设往复移动滑台11，往复移动滑台与往复移动机构相连；在往复移动滑台上安设前、后微波沉积装置，所述的前、后微波沉积装置包括前谐振腔9A和后谐振腔9B以及两套微波发生器1，两套微波发生器安设在往复移动滑台两侧，所述的前微波沉积装置的前谐振腔轴线与后微波沉积装置的后谐振腔轴线等高平行，前、后谐振腔的安装方位左右相错，前谐振腔右端面与后谐振腔左端面对齐，在床身两侧对应前、后谐振腔分别设置前、后固定旋转密封夹头和前、后移动旋转密封夹头，其中在床身的一侧安设固定床头箱18，固定床头箱上前后并行安设两个旋转密封夹套17，旋转密封夹套分别通过气控阀16与两个工艺气体控制柜15相连通，每个工艺气体控制柜均与SiCl4蒸发柜13和GeCl4蒸发柜14相并接，构成前、后固定旋转密封夹头；对应前、后固定旋转密封夹头，在床身的另一侧并行安设前后移动床头箱21，前、后移动床头箱与前后谐振腔相对应，前、后移动床头箱上分别安设两个并行的旋转密封夹套17，前、后移动床头箱上的旋转密封夹套分别与前、后谐振腔及固定床头箱上的两个旋转密封夹套同轴线，前、后移动床头箱上的旋转密封夹套分别通过真空闸阀19和冷却盒20与真空抽排装置22相接。前谐振腔9A和后谐振腔9B分别通过安设在支承座6上的立柱波导7、弯波导5、调节器4及微波功率检测器3、循环器2与两套微波发生器1相连接，构成前、后微波沉积装置。在床身的上方安设有保温炉10，所述的保温炉为开合式可升降保温炉，安设在谐振腔的上方，保温炉炉腔横截面为矩形或腰圆形，与前、后谐振腔相配置。

本发明第二个实施例如图3、4所示，它与上一个实施例的主要不同之处在于所述的前谐振腔与后谐振腔左右齐平设置，后谐振腔的立柱波导7下端通过弯波导5和半圆波导23与调节器4、微波功率检测器3、循环器2及微波发生器1相连接。其它结构与上一个实施例相同。