[发明专利]一种基底制造装置及其制造方法无效
申请号: | 201110092338.0 | 申请日: | 2004-08-20 |
公开(公告)号: | CN102223765A | 公开(公告)日: | 2011-10-19 |
发明(设计)人: | 麦可·巴讷斯;约翰·后兰;杉宏清;布瑞恩·Y·普;摩喜特·杰恩;苏立范;麦可·D·阿马寇斯特;韩森·E·奈尔;戴安娜·玛莉黛欧并;阿修克·K·信哈;丹·麦登 | 申请(专利权)人: | 应用材料有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00;H05K3/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开了一种基底制造装置,其包括一个制造腔室,此制造腔室具有一个基底支座、一个气体配管、一个气体增能器、一个气体排出口。此装置亦具有一个制造监测器,是用来监测基底的第一区域上的图案,并产生一个第一信号,还用来监测基底的第二区域上的图案,并产生一个第二信号。此装置还包括一个腔室控制装置,是用来接收并评估该第一信号与该第二信号,并依据该第一信号和该第二信号操作腔室。例如,腔室控制装置可依据这些信号值选择一个制造处方(process recipe)。腔室控制装置亦可设定一个制造参数,其是将制造腔室的第一制造区块设定在第一水平,而将制造腔室的第二制造区块设定在第二水平。此装置可提供一个密闭控制回路以分别监测、控制基底不同区域上的图案所进行的制造。 | ||
搜索关键词: | 一种 基底 制造 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种基底制造装置,其特征在于,包括:(a)一个制造腔室,包括:(i)一个基底支座,用以承载一个基底,该基底具有一个第一区域和一个第二区域;(ii)一个气体配管,用以将一气体导入该制造腔室中;(iii)一个气体增能器,以使该气体增能,以便在该基底上形成多个图案;(iv)一个气体排出口,用以排出该气体;(b)一个制造监测器,用以:(i)监测该基底的该第一区域上所形成的具有间隔开且分离开的多个图案的图形的尺寸,并产生一个第一信号;(ii)监测该基底的该第二区域上所形成的具有间隔开且分离开的多个图案的图形的尺寸,并产生一个第二信号;(c)一个腔室控制装置,用以接收该第一信号与该第二信号,并操作该基底支座、该气体配管、该气体增能器或该气体排出口,以设定多个制造参数,其中多个制造参数包括一个或多个气体流率、气体压力、气体增能电源的水平以及基底温度,以对多个第一区域与第二区域的图案进行制造,补偿形成在多个第一和第二区域上的图案尺寸上的差异。
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