[发明专利]ICP分析装置及其分析方法有效
| 申请号： | 201110086370.8 | 申请日： | 2011-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102235977A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | 田边英规;长泽宽治;赤松宪一;松泽修;中野信男 | 申请（专利权）人： | 精工电子纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/73 | 分类号： | G01N21/73 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 何欣亭;王忠忠 |
| 地址： | 日本千叶*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ICP分析装置及其分析方法，活用能进行高灵敏度测定但装置的劣化快的等离子体的发生轴方向测定和装置劣化少但灵敏度低的等离子体的横向测定中各测定的特征而能够进行高灵敏度且减轻了装置的劣化的倾斜方向测定。构成为：为了将所述等离子体喷灯设定为任意角度，以直线状对置地配置等离子体喷灯和聚光部时为基准，使至少一个相对于ICP分析装置中的聚光部的等离子体的光的取进方向转动，从而以任意角度对置。 | ||
| 搜索关键词： | icp 分析 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种ICP分析装置，其中包括：等离子体喷灯，引入等离子体用气体和雾滴化的试料；感应线圈，向所述等离子体喷灯施加高频电压；聚光部，对来自试料的发光进行聚光，该试料利用由该感应线圈的高频电压产生的等离子体来激发，从而发光；以及分析处理部，具有对聚光后的光的发光光谱进行分光的分光部，其特征在于，具备角度调整机构，为了将所述等离子体喷灯调整为任意角度，能够使等离子体喷灯和聚光部相对于所述聚光部的等离子体的光的取进方向做相对移动。
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