[发明专利]ICP分析装置及其分析方法

权利要求书

1.一种ICP分析装置，其中包括：

等离子体喷灯，引入等离子体用气体和雾滴化的试料；

感应线圈，向所述等离子体喷灯施加高频电压；

聚光部，对来自试料的发光进行聚光，该试料利用由该感应线圈的高频电压产生的等离子体来激发，从而发光；以及

分析处理部，具有对聚光后的光的发光光谱进行分光的分光部，其特征在于，

具备角度调整机构，为了将所述等离子体喷灯调整为任意角度，能够使等离子体喷灯和聚光部相对于所述聚光部的等离子体的光的取进方向做相对移动。

2.如权利要求1所述的ICP分析装置，其中所述角度调整机构中的等离子体喷灯和聚光部的相对移动，可以使所述等离子体喷灯及所述聚光部的任一个或两个能转动地移动。

3.如权利要求1或2所述的ICP分析装置，其中所述等离子体喷灯及聚光部的移动由电感器进行。

4.如权利要求1至3中任一所述的ICP分析装置，其中所述角度调整机构利用运算处理机的控制来驱动等离子体喷灯。

5.一种分析方法，其中包括：

将等离子体用气体和雾滴化的试料引入等离子体喷灯的试料引入工序；

对设于所述等离子体喷灯外周边的感应线圈施加高频电压从而使等离子体发光的等离子体发光工序；

对来自利用该等离子体激发的试料的发光进行聚光的聚光工序；以及

将该聚光后的光进行分光从而分析其发光光谱的分析处理工序，其特征在于，

所述聚光工序中，以直线状对置地配置所述等离子体喷灯和所述聚光部的状态为基准，使等离子体的发光的取进方向以任意角度对置。