[发明专利]ICP分析装置及其分析方法

说明书

技术领域

本发明涉及电感耦合等离子体质量分析装置(ICP-MS)、电感耦合等离子体发光分光(光谱)分析装置(ICP-OES)等电感耦合等离子体(以下，称为ICP)分析装置，特别是涉及其特征在于ICP分析装置的等离子体喷灯(plasma torch)和测光部的ICP分析装置及其分析方法。

背景技术

图5示出一例现有的ICP分析装置的概略结构图。其中包括：产生电感耦合等离子体的等离子体喷灯51；对该等离子体喷灯51施加高频电压的感应线圈52；将沿着等离子体喷灯51的轴向发生的等离子体的光和沿着与等离子体喷灯51的轴向正交的方向发生的等离子体的光分别引入的聚光部53；以将沿着与等离子体喷灯51的轴向正交的方向发生的等离子体的光入射到分光部56为目标的固定反射镜54；以及具有选择入射到分光器的光为来自等离子体的发生方向的光和与向发生方向正交的方向发生的光的任一光的功能的可变反射镜55。

通过驱动可变反射镜55，按照分析切换沿等离子体喷灯51的轴向发生的等离子体的光和与等离子体喷灯51的轴向正交的方向发生的等离子体的光，并加以测定(参照专利文献1)。

如此，从ICP分析装置中的两个方向聚光等离子体的光，其理由如下。

首先，来自轴向的聚光取决于能够令分光器更多地取得中心轴附近的用于分析的光。ICP分析装置的等离子体为环形体结构，等离子体发生方向的中心轴附近为低温区且朝着其周围成为高温区，经过该高温区后再成为低温区。对于环形体结构的等离子体的中心而言，试料沿着其中心轴方向被引入。因而，在等离子体中心的低温区存在较多的试料，换言之，测定灵敏度提高，所以在轴向聚光上有优点。然而，轴向的聚光中，与试料一起也从等离子体获取许多其它的共存物，因此分析结果容易受其影响，此外，在等离子体的中心轴近旁的高温区中有来自等离子体气体的发光，成为分析时的背景(background)。

另一方面，在来自等离子体的横向的聚光中，试料的存在概率并不会因越靠近中心轴而越高，而除此以外的其它的共存物的影响较少，因此在提高分析结果的精度这一点上有优点。

专利文献1：日本特开平9-318537号公报

发明内容

但是，上述现有的ICP分析装置中产生以下课题。

即，聚光方向的切换上具有切换用的固定反射镜54及可变反射镜55，因此需要调整多个反射镜，并且需要分别设置这些反射镜的驱动机构。为了满足这些要求，需要适当的控制机构，存在整个装置复杂的问题。此外，为了具备这些机构，成本也会增加。而且，从装置寿命的观点来看，由于轴向取进等离子体的光时聚光部直接受其热量，所以存在所谓的检测部的寿命短的问题。

此外，在该方法中，沿着等离子体喷灯51的轴向发生的等离子体的光和沿着与等离子体喷灯51的轴向正交方向发生的等离子体的光的任一光，都不能与灵敏度良好的任意角度对齐。因而，不能从高灵敏度的方向取进来自引入到等离子体的试料的发光，所以尚处于效率低的状态。

为了达成上述目的，本发明提供以下方案。

本发明的ICP分析装置，其中包括：引入等离子体用气体和雾滴化的试料的等离子体喷灯；施加等离子体喷灯高频电压的感应线圈；对来自通过由感应线圈的高频电压发生的等离子体来激发的试料的发光进行聚光的聚光部；以及具有对聚光后的光的发光光谱进行分光的分光部的分析处理部，其特征在于，具备角度调整机构，为了将等离子体喷灯调整到任意角度，能够使聚光部和等离子体喷灯相对于聚光部的等离子体的光的取进方向做相对移动。

角度调整机构作成使等离子体喷灯和/或聚光部的至少一个可动，并且能取进来自等离子体的倾斜方向的光。此外，该可动机构作成将等离子体喷灯前端和检测器的聚光部以直线状对置配置的位置为基准，通过转动其中的任一个或两个，从而能够相对转动。

(发明效果)

本发明的ICP分析装置及其测定方法，在用ICP分析装置进行向聚光部取进等离子体光之际，不仅等离子体光的轴向或其正侧面方向，都能从灵敏度良好的任意方向以高效率实施。此外，使等离子体和来自此处的光的聚光部在轴向非对置，从而减轻装置因加热而所受的负荷，并且能够延长装置的寿命。

附图说明

图1是表示整个本发明的ICP分析装置的简要图。

图2是表示本发明的ICP分析装置所涉及的等离子体喷灯和检测器的第一实施方式的简要图。

图3是表示本发明的ICP分析装置所涉及的等离子体喷灯和检测器的第二实施方式的简要图。