[发明专利]热处理装置无效
| 申请号： | 201110085373.X | 申请日： | 2011-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN102445076A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 户田洋司 | 申请（专利权）人： | 光洋热系统株式会社 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李雪春;武玉琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种热处理装置。该热处理装置(1A)包括绝热室(2)，该绝热室(2)具有容纳工件(W)的热处理炉(20)、设置有加热器(32)和风机(33)的空调部(23)以及连通热处理炉(20)和空调部(23)的通道(24)、(25)。该热处理装置(1A)还包括回流通道(5)和催化剂部(6)。回流通道(5)将从空调部(23)流出的空气送回到空调部(23)的比设置有加热器(32)的位置更靠上游一侧的部分。催化剂部(6)用于分解对工件(W)进行热处理时从工件(W)产生的升华物。催化剂部(6)设置在空调部(23)的比设置有加热器(32)的位置更靠下游一侧的部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 装置 | ||
【主权项】：
一种热处理装置，包括绝热室，该绝热室具有容纳被处理物的热处理部、设置有加热器和风机的空调部以及连通所述热处理部和所述空调部的通道，所述热处理装置通过一边借助所述通道使空气在所述热处理部和所述空调部之间循环一边对所述空气进行加热来对所述被处理物进行热处理，其特征在于，所述热处理装置还包括：回流通道，从所述风机的正压部到负压部形成所述空调部的捷径；以及催化剂部，设置在所述空调部的比设置有所述加热器的位置更靠下游一侧的部分，用于分解对所述被处理物进行热处理时从该被处理物产生的升华物。
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