[发明专利]热处理装置无效
申请号: | 201110085373.X | 申请日: | 2011-04-02 |
公开(公告)号: | CN102445076A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 户田洋司 | 申请(专利权)人: | 光洋热系统株式会社 |
主分类号: | F27B17/00 | 分类号: | F27B17/00;H01L21/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 李雪春;武玉琴 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热处理 装置 | ||
1.一种热处理装置,包括绝热室,该绝热室具有容纳被处理物的热处理部、设置有加热器和风机的空调部以及连通所述热处理部和所述空调部的通道,所述热处理装置通过一边借助所述通道使空气在所述热处理部和所述空调部之间循环一边对所述空气进行加热来对所述被处理物进行热处理,其特征在于,所述热处理装置还包括:
回流通道,从所述风机的正压部到负压部形成所述空调部的捷径;以及
催化剂部,设置在所述空调部的比设置有所述加热器的位置更靠下游一侧的部分,用于分解对所述被处理物进行热处理时从该被处理物产生的升华物。
2.根据权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,所述回流通道包括:排气管道,该排气管道的一端与所述空调部的比设置有所述风机的位置更靠下游一侧的部分连接,该排气管道的另一端向外部开放;以及回流管道,该回流管道从所述排气管道分路并与所述空调部的比设置有所述加热器的位置更靠上游的一侧连接。
3.根据权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,所述通道包括:送风通道,用于从所述空调部向所述热处理部输送对所述被处理物进行热处理的空气;以及返回通道,用于从所述热处理部向所述空调部送回对所述被处理物进行热处理后的空气。
4.根据权利要求2所述的热处理装置,其特征在于,所述通道包括:送风通道,用于从所述空调部向所述热处理部输送对所述被处理物进行热处理的空气;以及返回通道,用于从所述热处理部向所述空调部送回对所述被处理物进行热处理后的空气。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的热处理装置,其特征在于,所述热处理装置还包括吸气管道,该吸气管道用于将外界空气吸入所述空调部内。
6.根据权利要求3或4所述的热处理装置,其特征在于,所述热处理装置还包括吸气管道,该吸气管道用于将外界空气吸入所述返回通道内。
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